[发明专利]气泡率传感器、使用该气泡率传感器的流量计及极低温液体移送管

权利要求书

1.一种气泡率传感器，其测定极低温液体的气泡率，其中，

所述气泡率传感器具备：

配管，其具有供所述极低温液体流动的管路；以及

电极，其设置于所述配管的外周侧，用于测定在所述管路内流动的所述极低温液体的静电电容，

所述配管由可分割的偶数个陶瓷构件构成，在偶数个所述陶瓷构件中的相互对置的至少两个陶瓷构件上分别设置有所述电极。

2.根据权利要求1所述的气泡率传感器，其中，

所述陶瓷构件在外周面具有分别向外部开口的凹部，所述电极装配于凹部的底面。

3.根据权利要求2所述的气泡率传感器，其中，

所述凹部具有：第一凹部，其向外部开口；以及第二凹部，其设置于所述第一凹部的底面且开口面积比所述第一凹部小，所述电极装配于所述第二凹部的底面。

4.一种气泡率传感器，其测定极低温液体的气泡率，其中，

所述气泡率传感器具备：

内管，其具有供所述极低温液体流动的管路；

外管，其覆盖所述内管的外周；以及

电极，其配置于所述内管的外侧，用于测定在所述管路内流动的极低温液体的气泡率，

所述内管由可分割的偶数个陶瓷构件构成，在偶数个所述陶瓷构件中的相互对置的至少两个陶瓷构件上分别设置有所述电极。

5.根据权利要求4所述的气泡率传感器，其中，

在所述内管与所述外管之间具有减压了的空隙。

6.根据权利要求4或5所述的气泡率传感器，其中，

在所述内管的外周侧装配有捆束所述陶瓷构件的环状体。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的气泡率传感器，其中，

所述内管的内周面是磨削面。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的气泡率传感器，其中，

所述陶瓷构件的至少任一个具有闭口气孔，从相邻的所述闭口气孔的重心间距离的平均值减去所述闭口气孔的当量圆直径的平均值而得到的值为8μm以上至18μm。

9.根据权利要求8所述的气泡率传感器，其中，

所述闭口气孔的当量圆直径的偏度比所述闭口气孔的重心间距离的偏度小。

10.一种流量计，其测定在所述配管或所述内管的所述管路内流动的极低温液体的流量，其中，

所述流量计具备：

权利要求1至9中任一项所述的气泡率传感器；以及

流速计，其测定在所述管路内流动的所述极低温液体的流速。

11.一种极低温液体移送管，其中，

所述极低温液体移送管具备权利要求10所述的流量计。