[发明专利]具有用于机械地安装元件的解耦接头的组件

说明书

本发明关于一组件，其具有在操作或运输过程中在至少一个负载方向上受到机械应力的元件以及用于机械地安装该元件的解耦接头，其中解耦接头在负载方向上实现至少部分解耦，其中该解耦接头由多个单独的接头段(110,210,310,510,511,512,510’,51T,512’)构成，且其中这些接头段(110,210,310,510,511,512,510’,511T,512’)的其中至少两个以一阶梯式配置在负载方向上相对于彼此移动。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2001年1月11日申请的德国专利申请DE102021200131.9的优先权。该申请的内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明关于具有一元件以及用于机械地安装该元件的解耦接头的组件。元件可为光学元件，特别是反射镜或反射镜阵列，其例如在微光刻投射曝光装置中。元件或组件也可进一步为用于其他应用的元件或组件，例如用于计量学、精密机械或医疗技术。

背景技术

微光刻用于生产微结构部件，例如集成电路或LCD。微光刻工艺在所谓的投射曝光装置中执行，其具有照明装置和投射镜头。由照明装置所照明的掩模(＝掩模母版)的像在此处通过投射镜头被投射到基板(例如硅晶片)上，该基板涂有光敏层(光刻胶)并配置在投射镜头的像平面中，以将掩模结构转印到基板的光敏涂层上。

在针对EUV(例如，针对例如约13.5nm或以下的波长)而设计的投射曝光装置中，由于缺少透光材料，反射镜被使用作为成像过程的光学部件。在设计用于在EUV范围内操作的微光刻投射曝光装置的照明装置中，特别地，使用形式为场分面反射镜(field facetmirror)和光瞳分面反射镜的分面反射镜作为射束引导部件是已知的，例如从DE 10 2008009 600 A1已知。这类分面反射镜由多个个别的反射镜或反射镜分面构成，其可设计为在各种情况下都可通过挠曲件和致动器进行倾斜，以用于调整或实现特定的照明角度分布。

实践中出现的一个问题是，除其他外，EUV反射镜由于吸收了EUV光源所发射的辐射而被加热，并随之发生热膨胀或变形，这反过来又会导致光学系统的成像特性受到损害。

已知有多种方法可用于避免由于热输入到EUV反射镜而引起的表面变形和相关的光学像差。这些特别地包含了主动直接冷却或立即电加热。在此实践中出现的另一个问题是，在特定应用情况下直接冷却反射镜或反射镜阵列可能是不可行或不是期望的。与辐射相关的加热有关的反射镜或反射镜阵列的热膨胀接着导致约束力或机械张力，这可能是由于例如反射镜或反射镜阵列的不同热膨胀以及由于-通常是冷却的-机械环绕所造成的。

为了防止与应力相关的变形，解耦接头的使用是已知的，其旨在在各个反射镜或反射镜阵列的机械连接的情况下“吸收”各个光学元件的热引起的膨胀并以这种方式避免机械张力。然而，根据具体的应用场景，在不引入约束力或机械张力的情况下，通过这种解耦接头进行“解耦”的自由度可能不足以确保自由热膨胀。

此处在实践中可能出现的问题是，在解耦接头中发生并伴随光学元件或反射镜的热膨胀的解耦接头的变形导致解耦接头中可能超过临界值的高机械应力。此外，由于在相应的光学系统中可用的安装空间通常非常有限，因此还可能使解耦接头的应力优化构造变得更加困难。因此，解耦接头相对于光学元件或反射镜或反射镜阵列的适当构造和配置在实践中已被证明是相当大的挑战。如果由于剩余的约束力而发生光学有效表面的变形和/或位移，它们可能导致光学特性或相应光学系统(例如，投射曝光装置)的性能受损。

发明内容

本发明的一目的为提供一组件，其可减少与应力相关的不希望的变形，同时避免上述问题。

此目的通过独立权利要求1的特征来实现。

根据本发明的一组件具有：

-在操作或运输过程中在至少一个负载方向上受到机械应力的元件；以及