[发明专利]光学装置计量系统与相关方法在审

专利信息
申请号: 202180083988.0 申请日: 2021-11-23
公开(公告)号: CN116615676A 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 傅晋欣;大东和也;卢多维克•戈代 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: G02B1/10 分类号: G02B1/10
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;吴启超
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光学 装置 计量 系统 相关 方法
【权利要求书】:

1.一种光学装置计量方法,所述方法包含:

a)在第一时间段期间将第一类光提供至第一光学装置中,所述第一光学装置包含顶表面、底表面及连接所述顶表面与所述底表面的一或多个边缘;

b)在所述第一时间段期间测量从所述顶表面或所述底表面上的第一位置透射的所述第一类光的量;

c)在发生于所述第一时间段之后的第二时间段期间用光学吸收材料的第一涂层涂布所述一或多个边缘中的一边缘的至少一部分;

d)在发生于所述第二时间段之后的第三时间段期间将所述第一类光提供至所述第一光学装置中;及

e)在所述第三时间段期间测量从所述顶表面或所述底表面上的所述第一位置透射的所述第一类光的量。

2.如权利要求1所述的方法,进一步包含:对具有与所述第一光学装置相同的形状及尺寸的第二光学装置重复方块a)至e)的步骤,其中用第二涂层而非所述第一涂层涂布所述第二光学装置。

3.如权利要求2所述的方法,其中所述第二涂层为不同于所述第一涂层的材料。

4.如权利要求2所述的方法,进一步包含:

f)基于在方块b)及e)的步骤期间对所述第一光学装置及所述第二光学装置进行的所述测量确定所述第一涂层或所述第二涂层更适合吸收光。

5.如权利要求4所述的方法,进一步包含:基于在方块f)处的所述确定用所述第一涂层或所述第二涂层涂布额外的光学装置。

6.如权利要求2所述的方法,其中在将所述第一类光提供至所述第一光学装置及所述第二光学装置之前修改所述第一光学装置及所述第二光学装置的形状。

7.如权利要求6所述的方法,其中在所述修改之前,所述第一光学装置及所述第二光学装置具有基本上对应于所述第一光学装置及所述第二光学装置将在成品中具有的尺寸及形状的尺寸及形状。

8.如权利要求1所述的方法,其中所述第一类光为从激光器提供的蓝光。

9.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在所述第一时间段及所述第三时间段期间测量从所述一或多个边缘中的一边缘上的位置透射的所述第一类光的量。

10.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在所述第一时间段及所述第三时间段期间测量从所述第一光学装置上的两个或更多个位置透射的所述第一类光的量。

11.如权利要求1所述的方法,其中:

在所述第一时间段期间将所述第一类光提供至所述第一光学装置的所述底表面上的位置,且

在所述第三时间段期间将所述第一类光提供至所述第一光学装置的所述底表面上的所述位置。

12.如权利要求1所述的方法,其中:

在所述第一时间段期间将所述第一类光提供至所述第一光学装置的所述一或多个边缘中的一边缘上的位置,且

在所述第三时间段期间将所述第一类光提供至所述第一光学装置的所述一或多个边缘中的所述边缘上的所述位置。

13.如权利要求2所述的方法,其中:

在所述第一时间段期间将所述第一类光提供至所述第一光学装置的多个光栅,且

在所述第一时间段期间将所述第一类光提供至所述第二光学装置的多个光栅。

14.如权利要求1所述的方法,进一步包含:对具有与所述第一光学装置相同的形状及尺寸的第二光学装置同时执行方块a)至e)的步骤,其中用第二涂层而非所述第一涂层涂布所述第二光学装置。

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