[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其将长条的片状基板于长条方向上搬送并对上述片状基板实施既定的处理者，其特征在于，具备：

处理机构，对上述片状基板实施上述既定的处理；

搬送机构，以上述片状基板于被赋予既定的张力的状态下按照既定的搬送速度通过上述处理机构的方式，将上述片状基板于上述长条方向上搬送；以及

控制装置，管理上述处理机构及上述搬送机构的动作；

上述控制装置具备：

宽限判定部，判定直至使由上述搬送机构进行的上述片状基板的搬送动作停止为止的时间性宽限、或直至使上述搬送动作停止为止能够搬送的上述片状基板的长度的宽限；以及

张力指示部，基于上述宽限判定部的判定结果而指示于通过上述搬送机构使上述片状基板的上述搬送速度逐渐降低的期间内对上述片状基板赋予的上述张力。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

上述搬送机构包含：

转筒，将上述片状基板的长条方向的一部分卷绕至距既定的中心轴为固定半径的圆筒状的外周面，并绕上述中心轴旋转而搬送上述片状基板；

第1张力调整部，于上述片状基板的搬送方向上设置于上述转筒的上游侧，且调整进入至上述转筒的上述片状基板的张力；以及

第2张力调整部，于上述片状基板的搬送方向上设置于上述转筒的下游侧，且调整自上述转筒退出的上述片状基板的张力。