[发明专利]基于纳秒激光的非晶合金大面积超疏水表面制备方法

权利要求书

1.一种基于纳秒激光的非晶合金大面积超疏水表面制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将非晶合金表面进行机械研磨和抛光；

(2)对步骤(1)机械抛光后的试样进行超声波清洗；

(3)对步骤(2)超声波清洗后表面干燥洁净的试样在空气中进行激光单点加工，获得微纳米复合结构微孔，并对其进行直径的测量；

(4)根据步骤(3)激光烧蚀微孔的直径，规划激光点间距再进行激光点阵加工，获得微纳米复合结构表面；

(5)将步骤(4)激光点阵加工后的试样放入保温箱中进行退火处理，实现微纳米复合结构表面的超疏水。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，机械研磨所用碳化硅砂纸目数依次为80#、240#、400#、800#、1200#、2000#和3000#，机械抛光所用抛光布为尼龙抛光布，抛光膏为W0.5的金刚石抛光膏。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对试样进行超声清洗的所用液体依次为丙酮、无水乙醇和去离子水，清洗时间依次为5分钟。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对试样进行激光单点加工的纳秒激光器参数如下：脉宽为230ns,波长为1064nm,光斑直径为43μm，频率为50kHz,点雕刻时间为2ms,功率为4.4W；微纳米复合结构微孔包括：纳米级颗粒，微米级裂纹、条纹和圆孔。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对试样进行激光点阵加工的纳秒激光器参数如下：脉宽为230ns,波长为1064nm,光斑直径为43μm，频率为50kHz,点雕刻时间为2ms,功率为4.4W,点阵中点间距为50-130μm；微纳米复合结构表面形貌特征为：微米级结构上遍布纳米级颗粒。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，试样的退火温度为100℃，时间为12小时。