[发明专利]一种投片计划仿真方法、设备及系统

权利要求书

1.一种投片计划仿真方法，其特征在于，包括：

获取待仿真的晶圆投片计划的投产信息；所述投产信息包括多个未投产批次的第一生产材料信息和与所述第一生产材料信息对应的计划投片时间；

根据所述投产信息和在制品信息，得到晶圆生产信息；所述在制品信息包括多个已投产批次的第二生产材料信息；所述晶圆生产信息包括所述第一生产材料信息、所述计划投片时间、所述未投产批次的批次状态、所述第二生产材料信息、所述已投产批次的状态信息；所述未投产批次的状态信息为待转产状态；所述未投产批次的状态信息为空闲状态或生产状态；

若监测到系统运行时间达到所述晶圆生产信息中任一所述计划投片时间，则将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态；所述生产指令为所述目标未投产批次满足排产规则时触发的。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述晶圆投片计划和在制品信息，得到晶圆生产信息，包括：

将所述晶圆投片计划和所述在制品信息进行统合，得到第一晶圆生产信息；

将所述第一晶圆生产信息中的所述未投产批次的状态信息设置为所述待转产状态，并将第一晶圆生产信息中的所述已投产批次的状态信息设置为所述空闲状态或所述生产状态，得到所述晶圆生产信息。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一生产材料信息和所述第二生产材料信息包括的信息项相同。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述未投产批次和所述已投产批次具有多个生产步骤；所述将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态，包括：

将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为对应于当前生产步骤的所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的第一生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为对应于当前生产步骤的所述生产状态。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，生产循环模拟为使每个所述生产步骤按生产顺序依次在进入空闲状态之后再进入生产状态；所述方法还包括：

在所述目标未投产批次的所述当前生产步骤结束后，执行以下步骤，直到完成所述目标未投产批次的所述生产循环模拟：

将所述目标未投产批次的所述状态信息，由对应于所述当前生产步骤的所述生产状态修改为对应于下一生产步骤的空闲状态；

在接收到与所述目标未投产批次的所述下一生产步骤相对应的第二生产指令后，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述对应于所述下一生产步骤的所述空闲状态修改为对应于所述下一生产步骤的所述生产状态；

将所述目标未投产批次的所述当前生产步骤，赋值为所述下一生产步骤。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在完成所述目标未投产批次的生产循环模拟后，所述方法还包括：

将所述目标未投产批次的状态信息修改为模拟生产结束状态；所述模拟生产结束状态表征对应的所述未投产批次已仿真完毕。

7.根据权利要求4-6任一项所述的方法，其特征在于，每个所述生产步骤的所述空闲状态，表征处于从步骤开始到上机开始之间的过程；每个所述生产步骤的所述生产状态，表征处于从上机开始到下货结束之间的过程。