[发明专利]管理装置、数据处理方法、记录介质、半导体器件的制造方法及处理系统在审

专利信息
申请号: 202210014527.4 申请日: 2022-01-06
公开(公告)号: CN115113995A 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 坂元优介;浅井一秀;屋敷佳代子;上田修;袁帅 申请(专利权)人: 株式会社国际电气
主分类号: G06F9/48 分类号: G06F9/48;H01L21/67
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈伟;刘伟志
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 管理 装置 数据处理 方法 记录 介质 半导体器件 制造 处理 系统
【权利要求书】:

1.一种管理装置,其特征在于,具备:

第1存储部,其存储来自终端装置的请求数据;

第2存储部,其存储来自处理装置的信息;和

控制部,其构成为能够基于所接收到的所述请求数据对所述第1存储部及所述第2存储部中的某一方进行检索,使用所述第1存储部及所述第2存储部中的至少某一方获取与所述请求数据的内容对应的处理装置的信息。

2.根据权利要求1所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,当受理所述请求数据后,对所述第2存储部进行检索,

若存在遵照所述请求数据的高速缓存信息,则能够应答所述终端装置。

3.根据权利要求2所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,当受理所述请求数据后,对所述第2存储部进行检索,若无遵照所述请求数据的高速缓存信息,则将对所述处理装置请求所述请求数据这一主旨应答到所述终端装置。

4.根据权利要求3所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,若无遵照所述请求数据的高速缓存信息,则对所述第1存储部进行检索,确认在所述第1存储部内有无相同的请求数据。

5.根据权利要求4所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,若在所述第1存储部内无相同的请求数据,则在所述第1存储部内追加请求项目,获取所述第1存储部内的头部的请求数据。

6.根据权利要求5所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,从所述第1存储部内保存的多个请求数据取出头部的请求数据并发送到所述处理装置,获取与该请求数据对应的结果,并保存到所述第2存储部。

7.根据权利要求4所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,若在所述第1存储部内存在相同的请求数据,则合并到所述相同的请求数据。

8.根据权利要求2所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,当从所述处理装置获取事件信息后,确认是否是所述第2存储部中保存的所述高速缓存信息变旧的事件,在符合该事件的情况下,废弃所述高速缓存信息。

9.根据权利要求1所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,当从所述处理装置获取事件信息后,确认是否是所述第1存储部中保存的所述请求数据变旧的事件信息,在符合该事件信息的情况下,删除所述请求数据。

10.根据权利要求1所述的管理装置,其特征在于,

构成为,还具有按所述请求数据的类别设定优先度的表格,

所述控制部对于所述第1存储部内的所述请求数据根据所述优先度而变更向所述处理装置请求的顺序。

11.根据权利要求10所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,在所述第1存储部内的所述请求数据中,将向所述处理装置请求的顺序后退了的所述请求数据的优先度提升。

12.根据权利要求10所述的管理装置,其特征在于,

所述请求数据从装置的文件一览显示用的文件一览获取请求、基于用户指示从装置的文件获取请求、日记文件的获取请求、向装置的文件发送请求中的至少一个选择。

13.根据权利要求12所述的管理装置,其特征在于,

在所述日记文件中,从由装置生成的截屏、保存了装置通信的通信日记、保存了装置的运行状况和事件的事件日记、保存了所产生的出错信息的出错日记中的至少一个选择。

14.根据权利要求1所述的管理装置,其特征在于,

所述控制部构成为,保有与所述终端装置连接时的用户和密码认证。

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