[发明专利]光模块用钨铜热沉部件的制备方法

权利要求书

1.光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，所述光模块用钨铜热沉部件中各成分质量占比为：铜8％～22％，活化烧结元素的质量分数为0.05％～1.0％，其余成分为钨，具体按照以下步骤实施：

步骤1、以钨粉、铜源和活化烧结元素源为原料，使用湿磨将原料按一定比例混合均匀制备成浆料，再利用喷雾干燥设备将浆料制备成球形复合粉末，将球形复合粉末在氢气中煅烧还原获得球形W/Cu/活化烧结元素复合粉末；

步骤2、将球形W/Cu/活化烧结元素复合粉末与粘结剂在150～170℃下混炼2～4h，粉末与粘结剂的体积比为45:55～65:35，制备出注射成型喂料；

步骤3、将喂料在注射成型设备上制备出所需光模块用钨铜热沉部件形状的坯体；

步骤4、将注射成型坯体脱脂后高温烧结，得到光模块用钨铜热沉部件。

2.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，步骤1中所述活化烧结元素为可溶性Ni、Fe、Co、Pd金属盐中的至少一种。

3.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，所述钨粉粒径为0.2～1μm。

4.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，步骤1中所述铜源为硝酸铜、硫酸铜、氯化铜中的一种或多种混合。

5.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，步骤1所述球形复合粉末粒径为15～50μm，球形率95％。

6.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，步骤1所述将球形复合粉末在氢气中煅烧的煅烧工艺为加热至400℃，升温速率为1～5℃/min，保温2h之后以5℃/min升温至800℃保温2h。

7.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，步骤2中所述粘结剂为蜡基粘结剂。

8.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，步骤4所述高温烧结过程为：在1100～1250℃氢气气氛中烧结1～4h。

9.根据权利要求1所述光模块用钨铜热沉部件的制备方法，其特征在于，所述光模块用钨铜热沉部件导热率≥200W·m^-1·K^-1，热膨胀系数≤8.0×10^-6/K，相对密度≥98％。