[发明专利]一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构在审
申请号: | 202210017666.2 | 申请日: | 2022-01-08 |
公开(公告)号: | CN114289403A | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 朱秀洁 | 申请(专利权)人: | 朱秀洁 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/02;B08B1/02;B08B3/10;B08B3/14 |
代理公司: | 山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 37309 | 代理人: | 刘娅 |
地址: | 271200 山东省泰*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磨损 单晶硅 清洗 脱胶 机构 | ||
本发明涉及硅棒清理技术领域,具体的说是一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,包括固定箱,所述固定箱内部安装有放置机构,所述固定箱一侧安装有驱动机构,所述固定箱上连接有闭合机构,所述固定箱上安装有清洗机构,所述固定箱内部安装有过滤机构,所述固定箱内部连接有收集机构;通过放置机构和驱动机构的作用下有利于对硅棒进行很好的翻转清理,减少硅棒磨损,通过闭合机构有利于对放置机构驱动控制,并且方便对固定箱内部防护遮挡,通过清洗机构的作用下有利于对固定箱内部喷水清洗,并且通过闭合机构的工作进行水源输送控制,通过过滤机构的作用下有利于对输送的水进行过滤清理,通过收集机构的作用下有利于对污水中的胶水过滤清理。
技术领域
本发明涉及硅棒清洗技术领域,具体的说是一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构。
背景技术
单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质,硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,广泛应用与芯片制造和电子元器件的生产。
现有技术专利号为:201811035833.6一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,能够够对单晶硅棒进行清洗,然而在清洗过程中不方便对硅棒进行很好的上下料,操作起来十分不方便,并且操作不当容易造成硅棒碰撞磨损,同时不方便在上下料时很好的对水源输送控制,容易造成水资源浪费,并且缺乏过滤装置,容易造成喷头堵塞,清洗后的污水中的胶水不方便进行筛除,容易堵塞内部排水管道,造成二次污染。
发明内容
针对现有技术中的问题,本发明提供了一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,包括固定箱,所述固定箱内部安装有放置机构,所述固定箱一侧安装有驱动机构,所述固定箱上连接有闭合机构,所述固定箱上安装有清洗机构,所述固定箱内部安装有过滤机构,所述固定箱内部连接有收集机构。
具体的,所述放置机构包括支撑板,所述固定箱内部两侧分别安装有支撑板,所述固定箱内部滑动连接有固定框,所述固定框与两个支撑板滑动连接,所述固定框延伸至固定箱外部,所述固定框与固定箱内侧之间连接有两个抵触弹簧,两个所述支撑板上安装有多个超声波,所述固定框上转动连接有多个等距分布的滚轴。
具体的,两个所述支撑板上分别转动连接有多个等距分布的导轮,所述导轮与固定框两侧抵触,所述固定框一端转动连接有滚轮,所述固定箱底部内侧设有收集槽,所述收集槽位于固定框底部,所述固定箱一侧安装有排污阀,所述排污阀与收集槽连通。
具体的,所述驱动机构包括转套,所述固定框一端内部转动连接有多个等距分布的转套,多个所述转套一端分别与多个所述滚轴连接,所述转套延伸至固定框外部,所述固定箱一侧可拆卸连接有固定壳,所述固定壳上可拆卸连接有电机,所述固定箱一侧转动连接有多个等距分布的驱动轴,所述驱动轴一端延伸至固定箱内部,所述驱动轴一端与固定套一端内部均为六棱柱形结构,所述驱动轴另一端延伸至固定壳内部,多个所述驱动轴另一端分别固定连接有链轮,多个所述链轮通过链条连接,所述电机输出轴延伸至固定壳内部与其中一个驱动轴连接。
具体的,所述固定框两端内侧分别固定连接有多个挡板,所述挡板为圆盘形结构,所述挡板位于两个滚轴之间,两个所述挡板之间连接有刮板,所述刮板与硅棒抵触。
具体的,所述闭合机构包括盖板,所述固定箱一侧转动连接有盖板,所述盖板上安装有推块,所述推块为三角形结构,所述固定箱一侧内部设有卡槽,所述盖板一端安装有卡销,所述卡销通过复位弹簧与盖板滑动连接,所述卡销为梯形结构,所述盖板上滑动连接有拉杆,所述拉杆贯穿于复位弹簧与卡销连接。
具体的,所述固定箱一侧连接有支撑块,所述支撑块为梯形结构,所述支撑块上安装有皮垫,所述皮垫与盖板一侧抵触。
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