[发明专利]一种仿真控制方法、设备及系统

说明书

本申请公开了一种仿真控制方法、设备及系统。其中，仿真控制方法包括：建立基准时间序列和晶圆生产列表；基准时间序列包括顺序排列的多个时间元素；任意两个相邻的时间元素的时间差为第一预设时长阈值；晶圆生产列表包括顺次排列的多个已投产批次的生产信息；每间隔第二预设时长阈值，按照时间先后顺序从基准时间序列中获取一个时间元素，并基于从基准时间序列中获取的时间元素，确定即时模拟时间；对任一确定的即时模拟时间，在下次重新确定之前执行以下步骤：将即时模拟时间与晶圆生产列表中的各个宣告时间逐一比较，并根据比较的结果，控制与宣告时间对应的已投产批次的投产状态的循环切换。该方法能够实现对半导体生产仿真进行控制。

技术领域

本申请涉及集成电路制造技术领域，特别是涉及一种仿真控制方法、设备及系统。

背景技术

半导体制造业是一个高投资的高科技行业。半导体制造工厂为了实现其运营目标，提高生产力，其生产控制活动的自动化程度越来越高。其中，在半导体制造过程中，对派工的自动化控制尤其重要。

先进的晶圆厂大多采用了实时派工系统(Real Time Dispatch，RTD)来负责生产线上的派工。RTD可以通过内置的算法针对线上的批次(Lot)作出合理的派工结果，制造部门(MA)仅需要依据RTD推荐的Lot顺序生产即可，从而提升Fab内总体的生产效率。

晶圆厂通常需要制定晶圆生产计划，以让实时派工系统能够持续高效地进行派工。晶圆生产计划如果直接应用到生产线，可能会发生不可预知的风险，影响整体生产效率，因此，有必要在实际生产前进行半导体生产仿真。

因此，如何提供一种方法对半导体生产仿真进行控制，对半导体制造业具有重要的现实意义。

发明内容

本申请实施例提供一种仿真控制方法、设备及系统，用以实现对半导体生产仿真进行控制。

第一方面，本申请提供一种仿真控制方法，包括：

建立基准时间序列和晶圆生产列表；所述基准时间序列包括顺序排列的多个时间元素；任意两个相邻的所述时间元素的时间差为第一预设时长阈值；所述晶圆生产列表包括顺次排列的多个已投产批次的生产信息；所述生产信息包括批次标识、投产状态和宣告时间；所述宣告时间表征通过模拟派工确定的已投产批次的所述投产状态的结束时间点；

每间隔第二预设时长阈值，按照时间先后顺序从所述基准时间序列中获取一个所述时间元素，并基于从所述基准时间序列中获取的所述时间元素，确定即时模拟时间；所述第二预设时长阈值小于所述第一预设时长阈值；

对任一确定的所述即时模拟时间，在下次重新确定之前执行以下步骤：将所述即时模拟时间与所述晶圆生产列表中的各个所述宣告时间逐一比较，并根据所述比较的结果，控制与所述宣告时间对应的所述已投产批次的所述投产状态的循环切换；其中，所述第一预设时长阈值大于完成任一所述将所述即时模拟时间与所述晶圆生产列表中的各个所述宣告时间逐一比较的过程的耗时。

在一种可选的实施方式中，所述投产状态包括空闲状态和在产状态；所述空闲状态表征对应的所述已投产批次已进入一个生产步骤，且未开始上机；所述在产状态表征对应的所述已投产批次已开始上机，且未结束下货；所述循环切换包括同一生产步骤内的由所述空闲状态切换到所述在产状态，和在相邻的两个生产步骤间的由前一生产步骤的所述在产状态切换到后一生产步骤的所述空闲状态。

在一种可选的实施方式中，所述基于从所述基准时间序列中获取的所述时间元素，确定即时模拟时间，包括：

将从所述基准时间序列中获取的所述时间元素赋值给所述即时模拟时间。

在一种可选的实施方式中，所述将所述即时模拟时间与所述晶圆生产列表中的各个所述宣告时间逐一比较，根据所述比较的结果，控制与所述宣告时间对应的所述已投产批次的所述投产状态的循环切换，包括：