[发明专利]半导体装置的电气特性检查装置及半导体装置的电气特性检查方法

权利要求书

1.一种半导体装置的电气特性检查装置，其具有：

存储部，其对检查对象即半导体装置的测定条件进行存储；

控制部，其从所述存储部读出与所实施的检查内容对应的所述测定条件；

感应电感控制电路部，其设定针对所述半导体装置的感应电感；以及

杂散电感控制电路部，其设定针对所述半导体装置的杂散电感，

所述控制部基于从所述存储部读出的所述测定条件，通过对所述感应电感控制电路部进行控制而调整所述感应电感，并且通过对所述杂散电感控制电路部进行控制而调整所述杂散电感。

2.根据权利要求1所述的半导体装置的电气特性检查装置，其中，

所述杂散电感控制电路部具有：

初级电感器；

次级电感器，其与所述初级电感器构成变压器；

多个加调整用电感器，它们能够与所述初级电感器连接；

加调整用开关，其通过对所述初级电感器与各所述加调整用电感器之间的连接状态进行切换而调整所述次级电感器的电感；

多个减调整用电感器，它们能够与所述次级电感器连接；以及

减调整用开关，其通过对所述次级电感器与各所述减调整用电感器之间的连接状态进行切换而调整所述初级电感器的电感，

所述控制部通过对所述加调整用开关及所述减调整用开关进行控制，从而利用所述初级电感器的电感和所述次级电感器的电感对所述杂散电感进行调整。

3.根据权利要求2所述的半导体装置的电气特性检查装置，其中，

所述杂散电感控制电路部具有将针对所述变压器的干扰进行隔绝的屏蔽功能。

4.一种半导体装置的电气特性检查方法，其使用了权利要求1至3中任一项所述的半导体装置的电气特性检查装置，

该半导体装置的电气特性检查方法具有以下工序：

工序(a)，从所述存储部读出与所实施的所述检查内容对应的所述测定条件；

工序(b)，基于从所述存储部读出的所述测定条件而设定所述感应电感；

工序(c)，基于从所述存储部读出的所述测定条件而设定所述杂散电感；以及

工序(d)，实施所述半导体装置的测定。