[发明专利]流体致动器、流体致动器的控制方法及存储介质

权利要求书

1.一种流体致动器，其特征在于，具备：

第1压力传感器，测定朝向第1驱动方向驱动驱动对象的工作流体的压力；

第2压力传感器，测定朝向与所述第1驱动方向不同的第2驱动方向驱动所述驱动对象的工作流体的压力；及

加速度检测部，根据所述第1压力传感器所测定的压力和所述第2压力传感器所测定的压力来检测出在所述驱动对象上产生的加速度。

2.根据权利要求1所述的流体致动器，其特征在于，

所述流体致动器设置有第1驱动部，所述第1驱动部利用工作流体驱动所述驱动对象沿第1驱动轴移动，

所述第1驱动方向和所述第2驱动方向为沿着所述第1驱动轴的彼此相反的方向，

所述加速度检测部检测所述驱动对象上产生的沿着所述第1驱动轴的加速度。

3.根据权利要求1或2所述的流体致动器，其特征在于，

所述流体致动器设置有第2驱动部及第3驱动部，所述第2驱动部利用工作流体驱动所述驱动对象沿第2驱动轴移动，所述第3驱动部利用工作流体驱动所述驱动对象沿与所述第2驱动轴平行的第3驱动轴移动，并且在所述第2驱动部与所述第3驱动部之间隔着所述驱动对象，

所述第1驱动方向为沿所述第2驱动轴的方向，所述第2驱动方向为沿所述第3驱动轴的方向，

所述加速度检测部检测检测基于所述第2驱动部及所述第3驱动部而在所述驱动对象上产生的旋转方向上的加速度。

4.根据权利要求3所述的流体致动器，其特征在于，

沿所述第2驱动轴的所述第1驱动方向与沿所述第3驱动轴的所述第2驱动方向为相同的方向，

所述流体致动器设置有：第3压力传感器，测定驱动所述驱动对象朝向沿着所述第2驱动轴的与所述第1驱动方向相反的第3驱动方向移动的工作流体的压力；及第4压力传感器，测定驱动所述驱动对象朝向沿着所述第3驱动轴的与所述第2驱动方向相反的第4驱动方向移动的工作流体的压力，

所述加速度检测部根据对所述第1压力传感器所测定出的压力与所述第2压力传感器所测定出的压力的比较及对所述第3压力传感器所测定出的压力与所述第4压力传感器所测定出的压力的比较来检测出所述驱动对象上产生的旋转方向上的加速度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流体致动器，其特征在于，

所述流体致动器设置有驱动限制部，所述驱动限制部在所述加速度检测部所检测到的加速度超出了规定阈值时限制所述驱动对象的驱动。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的流体致动器，其特征在于，

所述工作流体为气体，

所述驱动对象在基于所述气体的压力而浮起的状态下被驱动。

7.一种流体致动器的控制方法，其特征在于，具备以下步骤：

利用第1压力传感器测定朝向第1驱动方向驱动驱动对象的工作流体的压力的步骤；

利用第2压力传感器测定朝向与所述第1驱动方向不同的第2驱动方向驱动所述驱动对象的工作流体的压力的步骤；及

根据所述第1压力传感器所测定的压力和所述第2压力传感器所测定的压力来检测出在所述驱动对象上产生的加速度的步骤。

8.一种存储介质，其存储有流体致动器的控制程序，其特征在于，

所述流体致动器的控制程序被计算机执行以实行如下步骤：

利用第1压力传感器测定朝向第1驱动方向驱动驱动对象的工作流体的压力的步骤；

利用第2压力传感器测定朝向与所述第1驱动方向不同的第2驱动方向驱动所述驱动对象的工作流体的压力的步骤；及

根据所述第1压力传感器所测定的压力和所述第2压力传感器所测定的压力来检测出在所述驱动对象上产生的加速度的步骤。