[发明专利]一种光学测量数据分析方法、分析系统及电子设备

权利要求书

1.一种光学测量数据分析方法，其特征在于，包括：

S1、对多个检测样本进行光谱分析，获取每个所述检测样本的光谱偏差指数和光谱相关系数；

S2、设立光谱偏差指数参数和光谱相关系数参数，结合所述光谱偏差指数、所述光谱偏差指数参数、所述光谱相关系数和所述光谱相关系数参数创建光谱匹配度指标数学模型，基于所述数学模型计算并使得所述每个检测样本的光谱匹配度指标值均大于预设的光谱匹配度指标阈值；

S3、对待测件进行光谱分析，获取待测件的光谱偏差指数和光谱相关系数，并基于所述数学模型计算所述待测件的光谱匹配度指标值，若所述待测件的光谱匹配度指标值大于所述预设光谱匹配度指标阈值，则所述待测件为正常件；否则，所述待测件为异常件。

2.根据权利要求1所述的一种光学测量数据分析方法，其特征在于，所述S1包括：

建立所述多个检测样本的物理模型，获取所述检测样本的理论光谱；对多个所述检测样本进行测量，获取所述检测样本的测量光谱；

计算每个所述待测样本的理论光谱与测量光谱的光谱偏差指数和光谱相关系数；

其中，所述理论光谱和所述测量光谱的类型一致，所述理论光谱和所述测量光谱的类型包括反射率、透射率、椭偏参数、穆勒矩阵信号中的一种或多种的组合。

3.根据权利要求1所述的一种光学测量数据分析方法，其特征在于，所述S1包括：

预设偏差指数阈值和相关系数阈值，对任意一个检测样本，若该检测样本的光谱偏差指数小于所述偏差指数阈值且该检测样本的光谱相关系数大于所述相关系数阈值，则保留该检测样本及其光谱偏差指数和光谱相关系数，否则，剔除该检测样本及其光谱偏差指数和光谱相关系数。

4.根据权利要求1所述的一种光学测量数据分析方法，其特征在于，所述光谱匹配度指标数学模型中，

所述光谱匹配度指标与所述光谱相关系数呈单调递增关系，所述光谱匹配度指标与所述光谱偏差指数呈单调递减关系；

所述光谱匹配度指标的范围为[0，1]。

5.根据权利要求4所述的一种光学测量数据分析方法，其特征在于，所述光谱匹配度指标数学模型包括：

GOF＝(αρ)^βM

或GOF＝sin(αρ)cos(βM)；

其中，GOF为所述光谱匹配度指标，α为所述光谱相关系数参数，β为光谱偏差指数参数，ρ为所述光谱相关系数，M为所述光谱偏差指数。

6.根据权利要求4所述的一种光学测量数据分析方法，其特征在于，对所述检测样本的光谱偏差指数进行归一化处理，获取归一化光谱偏差指数，包括：

设置光谱相关系数的值为1；

将光谱匹配度指标的数值设为光谱匹配度指标阈值，使满足公式：

所述归一化光谱偏差指数的范围为将保留的检测样本的光谱偏差指数归一化至

其中，GOF为光谱匹配度指标，GOF_tol为所述光谱匹配度指标阈值，α₀为光谱相关系数参数的值，β₀为光谱偏差指数参数的值，ρ为所述光谱相关系数，为归一化光谱偏差指数的最大值。

7.根据权利要求1所述的一种光学测量数据分析方法，其特征在于，所述S2包括：

预设所述光谱偏差指数参数的初值和所述光谱相关系数参数的初值，计算每个所述检测样本的光谱匹配度指标并与所述光谱匹配度指标阈值比较；

若任意一个所述检测样本的光谱匹配度指标不大于所述光谱匹配度指标阈值，则更新所述光谱偏差指数参数的初值和所述光谱相关系数参数的初值，重新计算每个所述检测样本的光谱匹配度指标并与所述光谱匹配度指标阈值比较；

直至每个所述检测样本的光谱匹配度指标均大于所述光谱匹配度指标阈值，输出对应的更新后的光谱偏差指数参数的初值和光谱相关系数参数的初值分别作为所述光谱偏差指数参数的值和所述光谱相关系数参数的值。