[发明专利]基于氢气传感器的氢气测量值修正方法在审
申请号: | 202210026996.8 | 申请日: | 2022-01-11 |
公开(公告)号: | CN114487287A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 汪献忠;赫树开;许雪锋;宋杰;李子明 | 申请(专利权)人: | 河南省日立信股份有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 河南省古格知识产权代理事务所(普通合伙) 41197 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 450001 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 氢气 传感器 测量 修正 方法 | ||
1.基于氢气传感器的氢气测量值修正方法,其特征在于包括:
S101:完成固定绝对压力P0下的氢气传感器的标定;
S102:记录标定氢气传感器时的环境绝对压力值P0;
S103:假定X为待测气体,测量待测气体,并记录测量时的环境绝对压力值Px和该压力下的浓度值Cx;
Cx=Kx·Px→KX=CX/PX
其中,Kx为待测气体在不同压力下的一次函数曲线斜率;
S104:根据本次测量所得待测气体测量浓度值Cx和其对应的本次测量所得环境绝对压力值Px,依据本次测量结果计算所得待测气体在不同压力下的一次函数曲线斜率Kx;
S105:根据计算得到的待测气体压力变化一次函数斜率Kx,根据C=Kx*P0计算得到绝对压力P0下对应的浓度值C。
2.根据权利要求1所述的基于氢气传感器的氢气测量值修正方法,其特征在于:所述标定采用标准物质浓度已知的氢气氮气混合气体,所述氢气氮气混合气体为浓度为20%H2/N2混合气体。
3.根据权利要求1所述的基于氢气传感器的氢气测量值修正方法,其特征在于:所述氢气传感器为量程为20%的MEMS传感器。
4.根据权利要求1所述的基于氢气传感器的氢气测量值修正方法,其特征在于:所述标定进行的是5点标定:在压力为P0的条件下,分别通入0.4%、2%、4%、10%和18%的氢氮混合气,根据测量值标定MEMS传感器——确定浓度和传感器测量值之间的关系,这样在压力P0的条件下,通入未知浓度的氢氮混合气,就可以根据浓度和测量值之间的关系计算出未知气体的浓度。
5.根据权利要求1所述的基于氢气传感器的氢气测量值修正方法,其特征在于:所述绝对压力P0下对应的浓度值C和Cx为同一浓度的氢氮混合气在不同压力下的测量值。
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