[发明专利]大容量快速回收六氟化硫设备

权利要求书

1.大容量快速回收六氟化硫设备，其特征在于，包括：沿着六氟化硫尾气的回收方向依次连通设置的回收接口单元、第一过滤单元、第一抽真空单元、压缩单元、第二抽真空单元以及回充口单元；

所述第一抽真空单元包括并联设置的第一支路以及第二支路，所述第一支路包括第一管道、安装于所述第一管道上以控制所述第一管道通断的第一开关阀以及安装于所述第一管道上的第一真空泵；所述第二支路包括第二管道以及安装于所述第二管道上以控制所述第二管道通断的第二开关阀；

所述压缩单元包括并联设置的第三支路以及第四支路，所述第三支路包括第三管道、安装于所述第三管道上的调压阀以及安装于所述第三管道上的压缩机；所述第四支路包括第四管道以及安装与所述第四管道上以控制所述第四管道通断的第四开关阀；

所述第二抽真空单元包括并联设置的第五支路以及第六支路，所述第五支路包括第五管道、安装于所述第五管道上以控制所述第五管道通断的第五开关阀、安装于所述第五管道上的第二真空泵以及安装于所述第五管道上以监测所述第五管道气压的第二气压计；所述第六支路包括第六管道以及安装于所述第六管道上以控制所述第二管道通断的第六开关阀。

2.如权利要求1所述的大容量快速回收六氟化硫设备，其特征在于，所述第一过滤单元包括一级过滤器及二级过滤器，所述一级过滤器为活性氧化铝，所述二级过滤器为分子筛。

3.如权利要求1所述的大容量快速回收六氟化硫设备，其特征在于，所述第六支路还包括安装于所述第六管道上的三级过滤器。

4.如权利要求3所述的大容量快速回收六氟化硫设备，其特征在于，所述三级过滤器为分子筛。

5.如权利要求1所述的大容量快速回收六氟化硫设备，其特征在于，所述大容量快速回收六氟化硫设备还包括控制器，所述回收接口单元还包括回收口、第一压力传感器以及电磁开关阀，所述第一压力传感器与所述电磁开关阀分别与所述控制器相连，以检测所述回收口的压力值并控制所述电磁开关阀的通断。

6.如权利要求1所述的大容量快速回收六氟化硫设备，其特征在于，所述第一过滤单元还包括第一气压计，所述第一气压计以检测通过所述第一过滤单元的气体压力。

7.如权利要求1所述的大容量快速回收六氟化硫设备，其特征在于，所述第五支路还包括设置在第五管道上的第二压力传感器。