[发明专利]一种能量标定模块及标定方法

权利要求书

1.一种能量标定模块，用于对直写式光刻机的曝光镜头进行能量标定，所述直写式光刻机至少包括多个曝光镜头和与所述曝光镜头对应的激光器、控制所述激光器的上位机模块，其特征在于，所述能量标定模块包括：

能量感测单元，配置为感应所述曝光镜头出射的光能量的大小而输出感测电流；

比较单元，配置为比较所述能量感测单元输出的感测电流并输出比较结果；

开关单元，与所述能量感测单元对应设置，配置为接通或断开所述能量感测单元与所述比较单元的电性连接；

控制器单元，配置为控制所述开关单元的导通或断开，以及接收所述比较单元的比较结果并根据比较结果控制调节所述多个曝光镜头出射的光能量。

2.如权利要求1所述的能量标定模块，其特征在于：所述能量感测单元的数量等于所述多个曝光镜头的数量。

3.如权利要求1所述的能量标定模块，其特征在于：所述开关单元设置有多个，一个所述开关单元至少对应一个所述能量感测单元。

4.如权利要求1所述的能量标定模块，其特征在于：所述比较单元至少包括第一输入端、第二输入端和输出端，所述第一输入端、第二输入端连接所述开关单元，所述输出端连接所述控制器单元。

5.如权利要求4所述的能量标定模块，其特征在于：所述控制器单元控制导通相应的所述开关单元使得任意两个能量感测单元电性连接至所述第一输入端和所述第二输入端，所述比较单元对接入的两个能量感测单元产生的感测电流进行比较，从所述输出端输出比较结果。

6.如权利要求1所述的能量标定模块，其特征在于：所述控制器单元根据比较结果向所述上位机模块发送控制信号，所述上位机模块根据控制信号调节相应激光器的输出功率以改变所述曝光镜头出射的光能量。

7.如权利要求1所述的能量标定模块，其特征在于：所述能量感测单元为光电传感器，所述开关单元为模拟开关，所述比较单元为运算放大器。

8.如权利要求1所述的能量标定模块，其特征在于：所述能量标定模块还包括模数转换单元，配置为将所述比较单元的输出结果转为数字信号提供给所述控制器单元。

9.一种采用如权利要求1-8任一项所述的能量标定模块对曝光镜头进行能量标定的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将所述能量感测单元移动至所述曝光镜头出射的光束范围内；

S2、任选一个曝光镜头作为基准曝光镜头，调节所述基准曝光镜头出射的光能量至曝光所需光能量；

S3、选取所述基准曝光镜头之外的任一曝光镜头作为当前待标定曝光镜头，将所述基准曝光镜头和所述当前待标定曝光镜头对应的能量感测单元接入所述比较单元，开通所述当前待标定曝光镜头对应的激光器，所述控制器单元根据比较结果控制调节所述当前待标定曝光镜头出射的光能量，直至所述当前待标定曝光镜头出射的光能量等于所述基准曝光镜头出射的光能量；

S4、选择另一曝光镜头作为当前待标定曝光镜头，并重复步骤S3, 直至所有曝光镜头标定完成。

10.如权利要求9所述的对曝光镜头进行能量标定的方法，其特征在于：步骤S3中所述控制器单元根据比较结果控制调节所述当前待标定曝光镜头出射的光能量分为三种情况：

其一、所述当前待标定曝光镜头出射的光能量小于所述基准曝光镜头出射的光能量，则增加当前待标定曝光镜头出射的光能量；

其二、当前待标定曝光镜头出射的光能量大于所述基准曝光镜头出射的光能量，则减小当前待标定曝光镜头出射的光能量；

其三、当前待标定曝光镜头出射的光能量等于所述基准曝光镜头出射的光能量，则无需进一步调节。