[发明专利]一种多层可调节防微振基座

说明书

本发明是多层可调节防微振基座，包括从下至上设置的底板、中板和顶板，其中底板和中板为钢板，顶板为钢结构板或混凝土板，底板和中板之间连接刚性可调节支撑件，中板和顶板之间连接有减振元件，底板直接接触厂房结构底边。本发明的优点：三层结构重量远小于现有技术同尺寸混凝土或钢结构基台。底层位置放置高度可调节刚性液压油装置可有效调节基座整体高度，减小因制作高度不达标超出要求高度的风险，使基座顶面可以与高架地板平齐。基座层层安装形式用胶固定，在安装移位时只需将部分刚性胶除掉，即可层层移位重新安装。减隔振元件位于基座第二层，可方便观察调试，相比现有技术基座底部减振元件有更高可视空间和可调节空间，方便后期维护。

技术领域

本发明涉及的是一种多层可调节防微振基座，具体涉及一种应用于精密设备，如半导体、显示面板、精密实验室等振动敏感型设备的多层可调节防微振基座，属于微振动控制技术领域。

背景技术

精密工业厂房防微振基座，作为半导体、显示面板、精密实验室等振动敏感型设备或场所中必不可少的装置设备，被广泛应用于振动敏感型设备底部，起着结构与振动敏感型设备减隔振及抑振的作用。防微振基座一方面可以减小结构传递而来的振动，另一方面也可以防止自身的振动传递给周边其他设备。

然而，现有技术防微振基座存在以下缺陷：1、一般为纯混凝土基台或钢结构形式，重量过重、搬运不便；2、高度不可控、无法调节，可能存在制作高度不达标、超出要求高度的风险；3、一般整体结构固定，安装移位不便；4、减振元件可视空间及可调节空间较小，调节维保和检查都较为困难。

发明内容

本发明提出的是一种多层可调节防微振基座，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现有效降低重量，实现高度可调，实现可安装移位，并简化调节维保和检查。

本发明的技术解决方案：一种多层可调节防微振基座，其结构包括相互平行、间隔且从下至上依次设置的底板、中板和顶板，其中底板和中板为钢板，顶板为钢结构板或混凝土板，底板和中板之间均匀连接有若干刚性可调节支撑件，中板和顶板之间均匀连接有若干减振元件，底板直接接触厂房结构底边。

优选的，所述的刚性可调节支撑件为可调节高度液压油装置。

优选的，所述的减振元件为被动减振元件，

优选的，所述的减振元件为橡胶或钢弹簧。

优选的，所述的减振元件为半主动减振元件。

优选的，所述的减振元件为空气弹簧。

优选的，所述的减振元件为主动控制减振元件。

优选的，所述的减振元件为压电陶瓷。

一种多层可调节防微振基座的安装方法，包括以下步骤：

1)将钢板的底板与厂房结构底边直接接触；

2)在底板上按照承重及区域脚位计算，进行支撑件设计，支撑件为刚性可调节支撑件，在底板通过刚性胶安装若干刚性可调节支撑件；

3)在刚性可调节支撑件上通过刚性胶安装钢板的中板；

4)在中板上根据承重及区域脚位计算，通过刚性胶安装减振元件；

5)在减振元件上根据实际设备不同通过刚性胶设计安装钢结构板或混凝土板的顶板。

本发明的优点：结构设计合理，采用三层结构，重量远小于现有技术同尺寸其他混凝土或钢结构基台。其中底层位置放置高度可调节刚性液压油装置，通过此装置可有效调节基座整体高度，减小因制作高度不达标超出要求高度的风险，使基座顶面可以与高架地板平齐。此基座由层层安装形式，用胶固定，在安装移位时，只需将部分刚性胶除掉，即可层层移位重新安装。减隔振元件位于基座的第二层，可方便的看到并且进行调试，相比于现有技术位于基座底部的减振元件，有更高的可视空间和可调节空间，方便于后期调节维保及检查。