[发明专利]一种用于晶圆输送的中转装置

权利要求书

1.一种用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，包括：

支撑架(1)，所述支撑架(1)的顶部设有用于限制晶圆上下通行的容置空间(4)；

所述容置空间(4)内设有用于承托晶圆的第一载片台(2)和第二载片台(3)，所述第一载片台(2)与所述第二载片台(3)上下间隔设置；

所述容置空间(4)的周向上开设有适于晶圆水平通行的输送口，所述输送口包括用于朝向第一抛光、清洗系统设置的第一输送口(17)、用于朝向第二抛光、清洗系统设置的第二输送口(18)以及用于朝向EFEM设置的第三输送口(19)。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，所述支撑架(1)的顶部具有向上伸出的伸出部(5)，还包括：

阻行板(6)，通过所述伸出部(5)连接在所述支撑架(1)的正上方，所述阻行板(6)与所述支撑架(1)顶部之间的间隔空间为所述容置空间(4)，所述阻行板(6)、伸出部(5)以及支撑架(1)的顶部共同围合成所述输送口。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，所述第一载片台(2)以及所述第二载片台(3)均连接在所述阻行板(6)上，所述第一载片台(2)、第二载片台(3)以及阻行板(6)共同组成一个适于与所述支撑架(1)可拆卸连接的载片层模组。

4.根据权利要求2所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，位于所述第一载片台(2)上的晶圆以及位于所述第二载片台(3)上的晶圆、在所述阻行板(6)上的正投影均具有部分从各所述输送口处向外伸出。

5.根据权利要求2所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，所述阻行板(6)上设有减重孔。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，所述第一载片台(2)以及第二载片台(3)均是由间隔设置的多个托板围合而成环形结构，所述第一载片台(2)以及第二载片台(3)的周向上具有用于与晶圆的外缘相抵的限位部。

7.根据权利要求6所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，构成所述第一载片台(2)的各托板与构成所述第二载片台(3)的各托板、上下一一对应，且上下一一对应的两个托板连接构成一个托架。

8.根据权利要求6所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，所述限位部为设置在所述托板顶面的托垫(10)，所述托垫(10)具有同轴套设的第一环形台阶(11)和第二环形台阶(12)；所述第一环形台阶(11)嵌套在所述第二环形台阶(12)的内部，所述第一环形台阶(11)高于所述第二环形台阶(12)，所述第二环形台阶(12)的顶面用于承托晶圆，所述第一环形台阶(11)的周向侧壁用于与晶圆的外缘相抵。

9.根据权利要求8所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，所述第一环形台阶(11)具有上下依次连接的锥形面(13)和柱形面(14)，所述锥形面(13)的横截面尺寸小于所述柱形面(14)的横截面尺寸，所述锥形面(13)用于引导晶圆水平插入，所述柱形面(14)用于与晶圆的外缘相抵。

10.根据权利要求1所述的用于晶圆输送的中转装置，其特征在于，所述第一载片台(2)以及所述第二载片台(3)上均设有传感器(16)，所述传感器(16)用于检测晶圆是否存在。