[发明专利]反射镜装调系统及装调方法在审
申请号: | 202210039592.2 | 申请日: | 2022-01-14 |
公开(公告)号: | CN114459608A | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 尤宏波;阚博涵;曹景华;彭燕鸿;张大为;郝利民 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G01J5/08 | 分类号: | G01J5/08;G01J5/0813;G02B7/198 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 华枫 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射 镜装调 系统 方法 | ||
本发明提出了一种反射镜装调系统及装调方法,装调系统包括:平板玻璃组件、平面反射镜组件及测量设备,沿光的传播方向,平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游,平面反射镜组件位于待装调反射镜的下游;测量设备用于发射检测光,检测光经平板玻璃组件传递至待装调反射镜,检测光经待装调反射镜的反射光传递至平面反射镜组件,反射光经平面发射镜组件、待装调反射镜反射后,经平板玻璃组件返回至测量设备;根据测量设备接收的反射光得到测量值,通过比较测量值与设计值,对待装调反射镜的角度和距离进行调整,至测量值达到设计值。本发明摒弃了接触式的顶针测量法使用了无接触式测量,减少了镜片损伤的风险,且具有高精度装调特性。
技术领域
本发明涉及红外成像设备技术领域,尤其涉及一种反射镜装调系统及装调方法。
背景技术
镜面定位仪是一种光学测量的仪器,它采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪,参考镜的位置可以精确移动,当干涉仪测量臂程与参考臂程相等时,可以发生干涉。干涉信号经光电二极管转变为电信号,再由显示屏显示。通过监控参考镜的移动位置,可以测量光学系统组件每一镜面之间的距离。镜面定位仪多用于镜片间的距离检测,广泛使用于镜片检测、光学镜头组件检测应用。
在红外热成像中,反射镜组件的状态直接影响光学传递函数指标的评价,从而影响光学成像的质量。所以,反射镜的装调是光学系统装调至关重要的一步。在传统装调方法中,装调反射镜分为两步,先使用顶针调节反射镜的距离,再使用自准直仪调节反射镜的角度。在装调反射镜的过程中,因为两步分开进行且精确度较低,往往需要多次重复两个步骤,分别调节距离与角度,使距离与角度处于理想数值。且使用顶针测量反射镜组件的距离会增加损伤镜片的风险。目前,国内暂无无接触式且高精度装调反射镜装调方法。
综上所述,反射镜的装调方法对于红外热成像仪的后续使用而言就显得愈发重要。
发明内容
本发明要解决的技术问题是如何提高反射镜装调的便利性和准确性的,本发明提出一种反射镜装调系统及装调方法。
根据本发明实施例的反射镜装调系统,包括:
平板玻璃组件,沿光的传播方向,所述平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游;
平面反射镜组件,沿光的传播方向,所述平面反射镜组件位于所述待装调反射镜的下游;
测量设备,用于发射检测光,所述检测光经所述平板玻璃组件传递至所述待装调反射镜,所述检测光经所述待装调反射镜的反射光传递至所述平面反射镜组件,所述反射光经所述平面发射镜组件、待装调反射镜反射后,经所述平板玻璃组件返回至所述测量设备;
根据所述测量设备接收的反射光得到测量值,通过比较测量值与设计值,对所述待装调反射镜的角度和距离进行调整,至测量值达到设计值。
根据本发明实施例的反射镜装调系统,摒弃了接触式的顶针测量法使用了无接触式测量,减少了镜片损伤的风险。采用了镜面定位仪进行待装调反射镜的装调,镜面定位仪具有高精度的特性。进行待装调反射镜装调的机械固定件用相对误差小的特性,所以在装调过程中,保证待装调反射镜组件结构的高精确度。
根据本发明的一些实施例,所述待装调反射镜的框架设有用于调节待装调反射镜的距离和角度的调节组件。
在本发明的一些实施例中,所述装调系统还包括:
固定支架,用于固定所述待装调反射镜。
根据本发明的一些实施例,所述平板玻璃组件包括:平板玻璃和固定底座,所述平板玻璃通过所述固定底座固定于所述待装调反射镜上游。
在本发明的一些实施例中,平面反射镜组件包括:平面反射镜和固定板,所述平面反射镜通过所述固定板固定于所述待装调反射镜下游。
根据本发明的一些实施例,所述平面反射镜组件还包括:支撑件,用于连接支撑所述固定板。
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