[发明专利]一种非接触式静电场检测传感探头装置

说明书

本发明实施例公开了一种非接触式静电场检测传感探头装置和系统，该探头装置至少包括屏蔽壳体、在屏蔽壳体的一侧设置有探测窗口，在屏蔽壳体内与探测窗口对应的位置设置有探针及采集模块，探针被固定在一悬梁臂内且连接到采集模块，悬梁臂被固定在第一振动单元和第二振动单元之间；探测窗口用于朝向静电场检测源；采集模块连接电信号检测电路用于获取待测区域的电荷量，并将电荷量传输到电信号检测电路；电信号检测电路对电荷量进行处理，得到静电场强度数值，对金属平板没有面积要求，且不受外界干扰，检测静电效率高，同时，通过无线方式与其他的供电装置相连，可以方便安装和拆卸。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种非接触式静电场检测传感探头装置。

背景技术

静电场测量装置不仅用于半导体芯片制造场合中，也被用于医疗环境中(用于检测静电放电量等等)，尤其在半导体芯片制造场合中，静电场的检测精度的要求更加严苛。

目前国内常用的有线供电静电场测量设备主要应用了平板式的非接触型静电场测量装置，具体的由一金属片为主体的平板式静电检测传感器，将其放置电场中，通过改变平板的面积来引起金属片上带的电荷变化，从而检测其产生的微电流。

上述的静电场检测装置存在着以下几点缺陷：1、对金属平板的面积要求；2、金属平板容易受外界干扰；3、电容变化量较小；导致静电场探测装置的精确低下，其次有线供电的使得静电场检测探头的不利于静电场检测装置的安装、拆卸。

发明内容

针对上述技术问题，本发明实施例提供了一种非接触式静电场检测传感探头装置。

本发明实施例提供一种非接触式静电场检测传感探头装置，所述探头装置至少包括屏蔽壳体、在屏蔽壳体的一侧设置有探测窗口，在屏蔽壳体内与探测窗口对应的位置设置有探针及采集模块，所述探针被固定在一悬梁臂内且连接到采集模块，所述悬梁臂被固定在第一振动单元和第二振动单元之间；所述探测窗口用于朝向静电场检测源；

所述悬梁臂内置探针探测平面与静电场检测源面呈平行状态，两平面距离因所述悬梁臂振动呈周期变化。

所述采集模块连接电信号检测电路用于获取待测区域的电荷量，并将电荷量传输到电信号检测电路；所述电信号检测电路对所述电荷量进行处理，得到静电场强度数值。

可选地，在所述屏蔽壳体内设置电源模块，所述电源模块与无线充电装置相连。

可选地，第一振动单元和第二振动单元之间设置有隔离层。

可选地，所述第一振动单元至少包括正电极板、绝缘套板和负电极板，且正电极板、绝缘套板和负电极板依次排列；

所述第二振动单元至少包括正电极板、绝缘套板和负电极板，且正电极板、绝缘套板和负电极板依次排列。

可选地，第一振动单元的正电极层与第二振动单元的正电极层相连，且所述第二振动单元的正电机层接入绝对值等值的反向电压信号，第一振动单元的负电极板与第二振动单元的负电极板相接。

可选地，通过绝缘套筒将第一振动单元的正电极板、绝缘套板和负电极板连接起来，并通过螺丝固定到固定底座上；

通过绝缘套筒将第二振动单元的正电极板、绝缘套板和负电极板连接起来，并通过螺丝固定到固定底座上。

可选地，所述第一振动单元和第二振动单元固定在绝缘支架上

可选地，在所述屏蔽壳体上设置有无线天线。

可选地，所述采集模块通过螺丝固定在悬梁臂内。

可选地，所述探针电极的直径大于1mm且小于2mm，长度为3mm。