[发明专利]一种基于微纳结构的过滤芯片

权利要求书

1.一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，包括金属网以及若干过滤孔；所述金属网包括若干第一金属线以及若干第二金属线，所述第一金属线与所述第二金属线相交设置；所述过滤孔由所述第一金属线与所述第二金属线围成；其中，所述金属网任意两点处厚度之差绝对值不大于3微米。

2.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，若干所述过滤孔中任意两个完整的所述过滤孔的孔径之差的绝对值不大于2微米。

3.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，任意两条所述第一金属线的平均线宽之差的绝对值不大于2微米；或者任意两条所述第二金属线的平均线宽之差的绝对值不大于2微米；或者任意一条所述第一金属线平均线宽与任意一条所述第二金属线的平均线宽之差的绝对值不大于2微米。

4.根据权利要求3所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所述若干第一金属线之间相互平行，所述若干第二金属线之间相互平行。

5.根据权利要求3所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所述过滤孔在所述金属网平面的投影形状为正方形、矩形、圆形或者菱形中一种。

6.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所述过滤孔的一端开口的宽度大于所述过滤孔另一端开口的宽度，且所述过滤孔呈喇叭状。

7.根据权利要求6所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所述过滤孔的一端开口的宽度与所述过滤孔另一端开口的宽度之差的绝对值不大于2微米，且不等于0。

8.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所述金属网边缘设有密封圈，所述密封圈将所述金属网包围在内部，且所述密封圈与所述金属网为一体结构。

9.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所有所述过滤孔的面积之和与所述金属网的整面面积之比不小于50％。

10.根据权利要求1～9任意所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所述金属网至少由一层金属构成。

11.根据权利要求1～9任意所述的一种基于微纳结构的过滤芯片，其特征在于，所述金属网的两个面其中一个面为镜面，另一个面为雾面，其中所述雾面的粗糙度不大于0.8。