[发明专利]激光照射装置

权利要求书

1.一种激光照射装置，其特征在于，包括：

一激光生成装置，用于生成待施加于处理对象的激光；

一浮起单元，用于浮起所述处理对象；

一保持机构，用于通过将所述处理对象吸附于一吸附表面上而保持所述处理对象；以及

一移动机构，用于移动所述保持机构，

其中，所述保持机构的所述吸附表面由在一平面视角下具有相同形状的多个吸附区域形成，

所述多个吸附区域中的每一个包括：

在所述平面视角下具有直线形状的第一凹槽以及与所述第一凹槽交叉的第二凹槽；

第三凹槽，所述第三凹槽连接所述第一和第二凹槽中的每一个的一端并且在所述平面视角下具有直线形状；以及

第四凹槽，所述第四凹槽连接所述第一和第二凹槽中的每一个的另一端并且在所述平面视角下具有直线形状。

2.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽中的至少一个连接有第一通孔。

3.根据权利要求2所述的激光照射装置，其特征在于，第二通孔连接至所述第一通孔，所述第二通孔位于所述第一通孔的下方且在所述平面视角下所述第二通孔的直径大于所述第一通孔的直径。

4.根据权利要求3所述的激光照射装置，其特征在于，

一管道连接至所述第二通孔，以及

所述管道中设有用于从所述管道排气的一排空机构。

5.根据权利要求4所述的激光照射装置，其特征在于，包括一吸附辅助阀，所述吸附辅助阀设置在所述管道的中央且设置为当经过所述第二通孔流入所述管道内的气体的流量等于或大于一阈值时关闭。

6.根据权利要求5所述的激光照射装置，其特征在于，所述保持机构包括：

一压力计，用于测量所述管道内的压力；以及

一判断单元，用于根据所述压力计测量的压力判断所述处理对象是否被吸附。

7.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，所述浮起单元在所述平面视角下具有四条边，并且所述保持机构和所述移动机构中的每一个被配置为能够沿着所述浮起单元的所述四条边中的一条边移动。