[发明专利]NOx传感器的传感器元件及NOx传感器的传感器元件的制造方法

权利要求书

1.一种NOx传感器的传感器元件，其是极限电流型的NOx传感器的传感器元件，

所述NOx传感器的传感器元件的特征在于，具备：

基体部，该基体部以氧离子传导型的固体电解质为构成材料；

至少1个内部空腔，该至少1个内部空腔供被测定气体导入；

至少1个泵单元，该至少1个泵单元构成为包括面对所述至少1个内部空腔而配置的内部电极、在所述至少1个内部空腔以外的部位所配置的空腔外泵电极、以及所述基体部中的存在于所述内部电极与所述空腔外泵电极之间的部分，

所述内部电极具备：

上侧层，该上侧层包括贵金属、所述固体电解质以及气孔；和

下侧层，该下侧层包括所述贵金属及所述固体电解质，

所述下侧层中的所述固体电解质的体积比大于所述上侧层中的所述固体电解质的体积比。

2.根据权利要求1所述的NOx传感器的传感器元件，其特征在于，

所述至少1个内部空腔为供预先被调整了氧浓度的被测定气体导入的测定用内部空腔，

所述内部电极为在所述测定用内部空腔所配置的测定电极，

所述至少1个泵单元为构成为包括所述测定电极、所述空腔外泵电极、以及所述基体部中的存在于所述测定电极与所述空腔外泵电极之间的部分的测定泵单元。

3.根据权利要求1或2所述的NOx传感器的传感器元件，其特征在于，

所述上侧层中的所述固体电解质的体积比为20％～40％，

所述下侧层中的所述固体电解质的体积比为50％～60％。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的NOx传感器的传感器元件，其特征在于，

所述上侧层与所述下侧层之间的厚度比在95：5～10：90的范围。

5.根据权利要求4所述的NOx传感器的传感器元件，其特征在于，

所述上侧层与所述下侧层之间的厚度比在90：10～30：70的范围。

6.一种NOx传感器的传感器元件，其是极限电流型的NOx传感器的传感器元件，

所述NOx传感器的传感器元件的特征在于，具备：

基体部，该基体部以氧离子传导型的固体电解质为构成材料；

至少1个内部空腔，该至少1个内部空腔供被测定气体导入；以及

至少1个泵单元，该至少1个泵单元构成为包括在所述基体部中划分出所述至少1个内部空腔的部分面对所述至少1个内部空腔而配置的内部电极、在所述至少1个内部空腔以外的部位所配置的空腔外泵电极、以及所述基体部中存在于所述内部电极与所述空腔外泵电极之间的部分，

所述内部电极构成为包括：贵金属、所述固体电解质以及气孔，

所述基体部与所述内部电极的边界和所述内部电极中存在所述气孔的区域与不存在所述气孔的区域的边界不同，

不存在所述气孔的区域的所述固体电解质的体积比大于存在所述气孔的区域的所述固体电解质的体积比。

7.根据权利要求6所述的NOx传感器的传感器元件，其特征在于，

所述至少1个内部空腔为供预先被调整了氧浓度的被测定气体导入的测定用内部空腔，

所述内部电极为在所述测定用内部空腔所配置的测定电极，

所述至少1个泵单元为构成为包括所述测定电极、所述空腔外泵电极、以及所述基体部中的存在于所述测定电极与所述空腔外泵电极之间的部分的测定泵单元。

8.根据权利要求7所述的NOx传感器的传感器元件，其特征在于，

所述基体部与所述测定电极的边界为所述测定电极中存在所述贵金属的区域的最下端部，

所述测定电极中存在所述气孔的区域与不存在所述气孔的区域的边界为存在所述气孔的区域的最下端部，

所述测定电极的上端部至存在所述气孔的区域的最下端部为止的距离与存在所述贵金属的区域的最下端部至存在所述气孔的区域的最下端部为止的距离之比为95：5～10：90的范围。