[发明专利]柱面镜的CGH补偿绝对检验方法

权利要求书

1.一种柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、利用带有标准平面镜头(3)的平面波干涉仪(2)和CGH补偿器(4)对柱面镜(1)进行共焦位置零位检验和焦线位置检验：

S11、所述平面波干涉仪(2)经标准平面镜头(3)发出平面测试波被CGH补偿器(4)变换为柱面测试波，且柱面测试波的焦线(6)与柱面镜(1)的轴线重合，进行共焦位置零位检验并测得第一组数据，存盘为W1；

S12、其余检验条件保持不变，所述CGH补偿器(4)绕平行于柱面镜(1)的轴线方向前后翻转，调整柱面镜(1)到CGH补偿器(4)的轴向距离，使得柱面测试波的焦线(6)仍与柱面镜(1)的轴线重合，进行共焦位置零位检验并测得第二组数据，存盘为W2；

S13、移去柱面镜(1)，CGH补偿器(4)前后翻转恢复初始位置，将标准平面反射镜(5)置于柱面测试波的焦线位置，柱面测试波的焦线(6)与标准平面反射镜(5)的X轴方向截线重合，进行检测测得第三组数据，存盘为W3；

S2、计算柱面镜的CGH补偿面形误差绝对检验结果T；

S21、计算所述CGH补偿器(4)引入的面形误差H(x,y)：

H(x,y)＝1/2[W1(x,y)-W2(x,y)+W3(x,y)+W3(x,-y)-R(-x,y)-R(-x,-y)-2P(x)+Δ(x,y)]

其中，R为标准平面镜头(3)的参考面误差，P为标准平面反射镜(5)的X轴方向截线的轮廓误差，Δ为CGH补偿器(4)前后翻转引入的面形误差，(x,y)、(x,-y)、(-x,y)、(-x,-y)为镜面上的横向坐标，其中x为平行于柱面镜(1)轴线方向的X轴坐标，y为垂直于干涉仪光轴的平面内与X轴正交的Y轴坐标；

S22、计算所述柱面镜(1)的面形误差T(x,y)：

T(x,y)＝W1(x,y)-H(x,y)-R(-x,y)。

2.根据权利要求1所述的柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，其特征在于，步骤S11和S12中，柱面镜(1)满足共焦位置零位检验条件，平面波干涉仪(2)经标准平面镜头(3)和CGH补偿器(4)发出的柱面测试光束法向入射到柱面镜(1)，被柱面镜(1)反射后沿原路返回平面波干涉仪(2)。

3.根据权利要求1所述的柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，其特征在于，步骤S13中，标准平面反射镜(5)处于柱面测试波的焦线(6)位置，平面波干涉仪(2)经标准平面镜头(3)和CGH补偿器(4)发出的柱面测试光束入射到标准平面反射镜(5)，反射后沿着关于X轴对称的位置返回平面波干涉仪(2)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，其特征在于，所述柱面镜(1)通过夹具设有以下调节自由度：沿Z方向和Y方向的移动自由度、绕X、Y和Z方向的旋转自由度，所述Z方向为光轴方向；所述CGH补偿器(4)通过夹具设有以下调节自由度：绕X、Y方向的旋转自由度；所述标准平面反射镜(5)通过夹具设有以下调节自由度：沿Z方向的移动自由度、绕Y方向的旋转自由度。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，其特征在于，步骤S21和S22中，CGH补偿器(4)前后翻转引入的面形误差Δ通过光线追迹方法获得，标准平面镜头(3)的参考面误差R和标准平面反射镜(5)的X轴方向截线的轮廓误差P通过预先校准获得。