[发明专利]一种基于蛋白分子的生物光电晶体管及其制备方法

权利要求书

1.一种基于蛋白分子的生物光电晶体管的制备方法，其特征在于：

在硅衬底上生长一层二氧化硅介质层，将半导体材料转移至介质层制成沟道层；用电子束曝光的方法在所述的半导体材料上曝光预先设计好的电极图案，蒸镀电极，制成半导体晶体管；将光敏蛋白分子作为光敏活性层嫁接到所述的半导体晶体管上，制得所述的生物光电晶体管。

2.根据权利要求1所述的生物光电晶体管的制备方法，其特征在于，所述的半导体材料为氧化锌。

3.根据权利要求1所述的生物光电晶体管的制备方法，其特征在于，在所述的半导体材料上制备的电极数量为两个，两个所述电极之间设有沟道，所述沟道尺寸为长2-8μm，宽为2-8μm。

4.根据权利要求3所述的生物光电晶体管的制备方法，其特征在于，在所述的半导体材料上制备的电极材料为金电极。

5.根据权利要求1所述的生物光电晶体管的制备方法，其特征在于，所述的光敏蛋白分子为细菌视紫红质。

6.根据权利要求1所述的生物光电晶体管的制备方法，其特征在于，将光敏蛋白分子作为光吸收层嫁接到所述的半导体晶体管上的步骤包括：

将所述的光敏蛋白分子溶于缓冲溶液PBS中，得到生物光敏蛋白悬浊液；

将所述的光敏蛋白悬浊液转移至所述的半导体晶体管上，在源极和漏极之间加1mV电压，使所述的光敏蛋白分子在半导体晶体管上定向排列，在40-50℃下加热烘干10分钟或自然风干1-2小时，实现将所述的光敏蛋白分子嫁接到所述的半导体晶体管上。

7.权利要求1-6任意一项所述的生物光电晶体管器件作为光电探测的应用，其特征在于，所述生物光电晶体管器件的栅极电压范围为-5～5V。

8.一种基于蛋白分子的生物光电晶体管，其特征在于，采用权利要求1-6任一所述光电晶体管的制备方法制得。