[发明专利]体全息光栅制作装置、体全息光波导及其制作方法与应用

权利要求书

1.一种体全息光栅的制作装置，其特征在于，所述制作装置包括：激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；

所述分光单元的入光侧设于所述激光光源的出光侧，所述分光单元用于将所述激光光源的光线分成从所述分光单元的第一出光侧出射的第一光束、以及从所述分光单元的第二出光侧出射的第二光束；

所述第一反射单元设于所述第一出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第一反射单元的出光侧，所述第一反射单元用于将所述第一光束出射至所述体全息膜；

所述第二反射单元设于所述第二出光侧，所述第一棱镜的第一侧设于所述第二反射单元的出光侧，所述体全息膜的第二侧设于所述第一棱镜的第二侧，所述第二反射单元用于将所述第二光束出射至所述第一棱镜的第一侧，所述第一棱镜用于通过所述第一棱镜的第一侧接收所述第二光束，并将所述第二光束通过所述第一棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；

所述渐变衰减片设于所述第一光束的光路中、用于对所述第一光束的透射率进行调制，和/或，设于所述第二光束的光路中、用于对所述第二光束的透射率进行调制；

所述体全息膜用于被所述第一光束和所述第二光束干涉形成的条纹曝光，形成所述体全息光栅。

2.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述第一反射单元包括第一反射镜；

所述第一反射镜设于所述第一出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第一反射镜的反射方向上。

3.根据权利要求2所述的制作装置，其特征在于，所述第二反射单元包括第二反射镜和第三反射镜；

所述第二反射镜设于所述第二出光侧，所述第三反射镜设于所述第二反射镜的反射方向上，所述第一棱镜的第一侧设于所述第三反射镜的反射方向上。

4.根据权利要求3所述的制作装置，其特征在于，所述第三反射镜设于滑轨旋转台上。

5.根据权利要求3或4所述的制作装置，其特征在于，所述激光光源包括合束器和至少一个激光器；

每一所述激光器分别设于所述合束器的每一输入端，所述分光单元的入光侧设于所述合束器的输出端。

6.一种体全息光栅的制作装置，其特征在于，所述制作装置包括：激光光源、分光单元、第一反射单元，第二反射单元、第一棱镜、第二棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；

所述分光单元的入光侧设于所述激光光源的出光侧，所述分光单元用于将所述激光光源的光线分成从所述分光单元的第一出光侧出射的第一光束、以及从所述分光单元的第二出光侧出射的第二光束；

所述第一反射单元设于所述第一出光侧，所述第二棱镜的第一侧设于所述第一反射单元的出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第二棱镜的第二侧，所述第一反射单元用于将所述第一光束出射至所述第二棱镜的第一侧，所述第二棱镜用于通过所述第二棱镜的第一侧接收所述第一光束，并将所述第一光束通过所述第二棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；

所述第二反射单元设于所述第二出光侧，所述第一棱镜的第一侧设于所述第二反射单元的出光侧，所述体全息膜的第二侧设于所述第一棱镜的第二侧，所述第二反射单元用于将所述第二光束出射至所述第一棱镜的第一侧，所述第一棱镜用于通过所述第一棱镜的第一侧接收所述第二光束，并将所述第二光束通过所述第一棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；

所述渐变衰减片设于所述第一光束的光路中、用于对所述第一光束的透射率进行调制，和/或，设于所述第二光束的光路中、用于对所述第二光束的透射率进行调制；

所述体全息膜用于被所述第一光束和所述第二光束干涉形成的条纹曝光，形成所述体全息光栅。

7.根据权利要求6所述的制作装置，其特征在于，所述第一反射单元包括第一反射镜；

所述第一反射镜设于所述第一出光侧，所述第二棱镜的第一侧设于所述第一反射镜的反射方向上。