[发明专利]一种使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统有效
申请号: | 202210074299.X | 申请日: | 2022-01-21 |
公开(公告)号: | CN114460032B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 杨旻蔚 | 申请(专利权)人: | 华太极光光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586;G01N21/59;G01N21/84 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 沈栋栋 |
地址: | 200433 上海市杨浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 使用 赫兹 光谱 成像 检测 流水 线上 物体 系统 | ||
1.一种使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,包括:
太赫兹准直系统,设置有辐射源、准直器件和缩束器件,经所述辐射源产生的太赫兹波进入所述准直器件准直后,再由所述缩束器件进行缩束;
太赫兹分光系统,设置有分光器件和线聚焦器件,缩束后的所述太赫兹波进入所述分光器件内,并形成若干具有不同频率的衍射太赫兹波,每一所述衍射太赫兹波再由所述线聚焦器件进行线聚焦并形成太赫兹线束;
太赫兹成像系统,设置有成像器件和太赫兹相机,每一所述太赫兹光束均垂直投射于所述成像器件上,并由所述太赫兹相机成像,每一所述太赫兹光束到达所述成像器件过程中均形成光路面,经所述流水线输送的所述物体的运动方向垂直于每一所述光路面;
位置检测系统,设置有光电门和光栅尺,所述光电门用于获得所述物体经过的时间间隔Δt,所述光栅尺用于获得相同时刻的位移Δx;
控制系统,设置有软件平台,所述软件平台获取所述时间间隔Δt和所述位移Δx,计算出所述流水线的瞬时速度v=Δx/Δt,并与预设的所述流水线的速度进行对比。
2.根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述控制系统还包括运动编码器,所述运动编码器用于获取所述光栅尺的位移,并将所述位移输送至所述软件平台。
3.根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述光电门包括:分别设置在所述流水线的两侧的光源和光电探测器。
4.根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述太赫兹准直系统还包括飞秒激光发生装置,所述飞秒激光发生装置用于发射用于泵浦所述辐射源的飞秒激光。
5.根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述流水线包括用于输送物体的传送带。
6.根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述分光器件选用光栅。
7.根据权利要求6所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述衍射太赫兹波的衍射方程为d(sinα+sinβ)=mλ,其中,d为所述分光器件的周期,α和β分别是入射光束和衍射光束与所述分光器件的法线的夹角,m为衍射级次,λ为衍射光的波长。
8.根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述太赫兹相机面阵划分成N*L个单元,所述物体投影至所述太赫兹相机的像素平面划分为N*M个位置,其中,纵向表示有L个不同的波长,横向表示有N或M行不同的空间位置根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统。
9.根据权利要求7所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述物体的透射率T(xi,yj,λk)=B(xi,yj,λk)/A(yj,λk),其中,A(yj,λk)为每个波长的响应率,B(xi,yj,λk)为存在被检物体的情况下获得的每一列的响应。
10.根据权利要求1所述使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,其特征在于,所述线聚焦器件选用柱透镜。
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