[发明专利]一种基于卷帘快门式CMOS的激光散斑微振动测量系统及方法

权利要求书

1.一种基于卷帘快门式CMOS的激光散斑微振动测量系统，其特征在于：包括空间光驱动器、散斑探测系统及微型计算机，所述散斑探测系统包括成像镜头和光探测器，所述成像镜头、光探测器及微型计算机依次光连接，所述空间光驱动器用于输出单频光信号至被测物体表面以产生空间散斑，所述成像镜头用于将所述空间散斑成像，所述光探测器采用卷帘快门式CMOS图像传感器用于接收空间散斑图像。

2.如权利要求1所述的一种基于卷帘快门式CMOS的激光散斑微振动测量系统，其特征在于：所述空间光驱动器与被测物体位于同一轴线上，且所述被测物体、成像镜头以及光探测器位于另一轴线上。

3.如权利要求2所述的一种基于卷帘快门式CMOS的激光散斑微振动测量系统，其特征在于：所述微型计算机用于接收所述光探测器上的空间散斑图像并进行处理。

4.一种基于卷帘快门式CMOS的激光散斑微振动测量方法，其特征在于：该方法利用如权利要求1-3任一项所述的一种基于卷帘快门式CMOS的激光散斑微振动测量系统实现，包括以下步骤：

S1、调整空间光驱动器与光探测器的参数、位置，所述空间光驱动器产生激光经被测物体散射后产生空间散斑，所述空间散斑经成像镜头成像后形成空间散斑图像，所述空间散斑图像被光探测器接收；

S2、所述光探测器将接收到的所述空间散斑图像输入到微型计算机中进行信号处理；

S3、所述微型计算机根据所输入的空间散斑图像的变化，计算得出被测物体的微小位移信息；

S4、根据所述被测物体的微小位移信息，计算得出被测物体的微振动信息。

5.如权利要求4所述的一种基于卷帘快门式CMOS的激光散斑微振动测量方法，其特征在于：还包括步骤S5，所述步骤S5具体为：根据步骤S4中得到的微振动信息计算信噪比，若信噪比低于预先设定的阈值时，重复步骤S1,对所述空间光驱动器、成像镜头以及光探测器重新进行调节。