[发明专利]一种掺杂钟罩系统及其改变掺杂气体分子路径方法有效

专利信息
申请号: 202210078575.X 申请日: 2022-01-24
公开(公告)号: CN114574945B 公开(公告)日: 2023-05-09
发明(设计)人: 蔡瑞;刘进;虎永慧 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
主分类号: C30B15/04 分类号: C30B15/04;C30B29/06
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 掺杂 系统 及其 改变 气体 分子 路径 方法
【权利要求书】:

1.一种掺杂钟罩系统,包括主炉室(1),其特征在于:所述主炉室(1)的顶部固定有隔离阀(2),所述隔离阀(2)的顶部固定有副炉室(3),所述主炉室(1)内壁的底部通过支杆(4)固定有石英坩埚(5),所述副炉室(3)内壁的左侧滑动连接有滑板(6),所述滑板(6)的右侧固定有石英钟罩(7),所述石英钟罩(7)的内部设置有石英杯(8),所述石英杯(8)的顶部固定有挂环(9),所述副炉室(3)的内部设置有上连接罩(10),所述上连接罩(10)与石英钟罩(7)配合使用, 所述上连接罩(10)的底部连通有连接管(11),所述连接管(11)的底端依次贯穿副炉室(3)、隔离阀(2)、主炉室(1)并延伸至主炉室(1)的内部,所述连接管(11)的底端连通有下连接罩(12),所述下连接罩(12)位于石英坩埚(5)的内部,所述副炉室(3)上设置有驱动密封机构(13),所述石英钟罩(7)的内部设置有防脱落挂钩机构(14),所述石英钟罩(7)与上连接罩(10)之间设置有辅助密封机构(15);

所述驱动密封机构(13)包括固定在副炉室(3)顶部的驱动电机(131),所述驱动电机(131)的输出轴固定有螺杆(132),所述螺杆(132)的底端贯穿副炉室(3)并与副炉室(3)内壁的底部转动连接,所述螺杆(132)的表面与滑板(6)的内壁螺纹连接,所述副炉室(3)内壁的底部固定有充气筒(133),所述充气筒(133)的内壁滑动有挤压活塞(134),所述挤压活塞(134)的顶部固定有贯穿至充气筒(133)外部的驱动杆(135),所述驱动杆(135)与滑板(6)配合使用,所述挤压活塞(134)的底部与充气筒(133)内壁的底部之间固定有复位弹簧(136),所述充气筒(133)的表面连通有加气管(137),所述上连接罩(10)的顶部开设有环形槽(138),所述石英钟罩(7)的底部嵌设安装有与环形槽(138)配合使用的空心环形密封圈(139),所述加气管(137)的一端贯穿石英钟罩(7)并与空心环形密封圈(139)的表面连通,所述充气筒(133)的内部设置有限位机构(1310);

所述限位机构(1310)包括固定在充气筒(133)内壁的上限位块(1310-1),所述上限位块(1310-1)的底部与挤压活塞(134)的顶部接触,所述充气筒(133)的内壁还固定有下限位块(1310-2),所述下限位块(1310-2)位于加气管(137)的上方;

所述防脱落挂钩机构(14)包括固定在石英钟罩(7)内壁顶部的钩体(141),所述钩体(141)与挂环(9)配合使用,所述钩体(141)的内侧开设有弧形槽(142),所述弧形槽(142)的内壁转动有弧形条(143),所述弧形条(143)与弧形槽(142)配合使用,所述弧形条(143)的表面固定有挤压弹簧(144),所述挤压弹簧(144)的一端与弧形槽(142)的内壁固定连接,所述弧形条(143)的表面还固定有拉绳(145),所述拉绳(145)的一端贯穿钩体(141)并延伸至钩体(141)的外部,所述拉绳(145)的一端固定有拉环(146),所述拉环(146)的一端与钩体(141)的外侧接触。

2.根据权利要求1所述的一种掺杂钟罩系统,其特征在于:所述辅助密封机构(15)包括固定在石英钟罩(7)底部的第一镂空密封环(151),所述上连接罩(10)的顶部固定有与第一镂空密封环(151)配合使用的第二镂空密封环(152)。

3.根据权利要求2所述的一种掺杂钟罩系统,其特征在于:所述第一镂空密封环(151)的内壁固定有第一吸附磁环(153),所述第二镂空密封环(152)的内壁固定有第二吸附磁环(154)。

4.根据权利要求3所述的一种掺杂钟罩系统,其特征在于:所述第一吸附磁环(153)与第二吸附磁环(154)配合使用,所述第一吸附磁环(153)与第二吸附磁环(154)相互靠近的一侧为异性磁极。

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