[发明专利]多自由度磁悬浮微动平台

权利要求书

1.一种多自由度磁悬浮微动平台，其特征在于包括初级基板(100)、上次级基板(200)、下次级基板(300)和多个正交线圈直线直流电机(400)，

初级基板(100)位于上次级基板(200)和下次级基板(300)之间，形成两个气隙；并且三个基板水平布置，相互平行；上次级基板(200)和下次级基板(300)机械上连接在一起；

初级基板(100)、上次级基板(200)和下次级基板(300)均为多边形基板，多边形基板的边数与正交线圈直线直流电机(400)的个数相同；正交线圈直线直流电机(400)包括电机初级、电机上次级和电机下次级；电机初级包括正交连接的水平驱动线圈和垂向驱动线圈；

初级基板(100)每个角顶点处设置一个电机初级，上次级基板(200)和下次级基板(300)上对应设置电机上次级和电机下次级。

2.根据权利要求1所述的多自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，所述多边形基板为矩形基板，四个正交线圈直线直流电机(400)呈中心对称分布。

3.根据权利要求1所述的多自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，所述多边形基板为等边三角形，三个正交线圈直线直流电机(400)呈中心对称分布。

4.根据权利要求2或3所述的多自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，所述磁悬浮微动平台还包括磁悬浮重力补偿器(500)，所述磁悬浮重力补偿器(500)包括补偿器初级、补偿器上次级和补偿器下次级，补偿器初级居中设置在初级基板(100)上，补偿器上次级居中设置在上次级基板(200)上，补偿器下次级居中设置在下次级基板(300)上。

5.根据权利要求4所述的多自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，

电机上次级和电机下次级分别包括次级铁心和次级永磁体；

次级永磁体为平板形，包括两块水平充磁永磁体和两块垂向充磁永磁体；四块永磁体均粘贴固定在次级铁心上，其中两块水平充磁永磁体处于中间，二者之间有间隙，并且充磁方向相同；两块垂向充磁永磁体粘贴固定在两块水平充磁永磁体的横向外侧，两块垂向充磁永磁体的充磁方向相反；两块水平充磁永磁体和两块垂向充磁永磁体形成串联磁路；

电机上次级和电机下次级的永磁体对称布置，且对应位置垂向充磁永磁体的充磁方向相同，对应位置水平充磁永磁体的充磁方向相反；电机上次级和电机下次级的永磁体形成串联磁路；电机上次级的次级铁心固定在上次级基板(200)上，电机下次级的次级铁心固定在下次级基板(300)上；

电机初级的水平驱动线圈和垂向驱动线圈均为矩形线圈；垂向驱动线圈固定在初级基板(100)上，垂向驱动线圈所在平面与初级基板(100)垂直，垂向驱动线圈的两个有效边处于水平方向，上有效边位于初级基板(100)与电机上次级的两块水平充磁永磁体形成的空间内；下有效边位于初级基板(100)与电机下次级的两块水平充磁永磁体形成的空间内；

水平驱动线圈固定在初级基板(100)上，其两个有效边沿水平方向布置，两个有效边分别位于电机上次级和电机下次级的四块垂向充磁永磁体形成的空间内；

水平驱动线圈和垂向驱动线圈的有效边长度不相等。

6.根据权利要求5所述的多自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，

补偿器初级包括初级永磁体，补偿器上次级包括上次级永磁体，补偿器下次级包括下次级永磁体，初级永磁体、上次级永磁体和下次级永磁体均为圆盘形或矩形或三角形；

初级永磁体包括上层初级永磁体和下层初级永磁体，上层初级永磁体和下层初级永磁体对称固定在初级基板(100)的上下表面；上次级永磁体固定在上次级基板(200)的气隙侧，下次级永磁体固定在下次级基板(300)的气隙侧；

初级永磁体、上次级永磁体和下次级永磁体均为垂向平行充磁；初级永磁体与下次级永磁体的充磁方向相同，上次级永磁体和下次级永磁体对称布置，且充磁方向相反。