[发明专利]单片式面弯曲模双耦合五叉臂石英音叉真空敏感谐振器

权利要求书

1.一种单片式面弯曲模双耦合五叉臂石英音叉真空敏感谐振器，其特征在于：所述单片式面弯曲模双耦合五叉臂石英音叉真空敏感谐振器由五叉臂面弯曲模石英音叉谐振器片、石英真空敏感谐振器管座和石英音叉真空敏感谐振器抗污防潮过滤帽构成，所述五叉臂面弯曲模石英音叉谐振器片置于所述石英真空敏感谐振器管座和所述石英音叉真空敏感谐振器抗污防潮过滤帽所构成的真空敏感谐振器封装部件内；

所述石英真空敏感谐振器管座包括可伐合金——玻璃管座底盘、科伐合金管座侧壁、绝缘玻璃体以及均匀分布与所述绝缘玻璃体内的第一管脚、第二管脚和第三管脚，所述可伐合金——玻璃管座底盘和科伐合金侧壁是一体的结构，科伐合金侧壁位于可伐合金——玻璃管座底盘之上，所述科伐合金管座侧壁的侧壁上边缘的两端分别设有第一条形纵向槽和第二条形纵向槽，所述玻璃绝缘体设置于所述可伐合金侧壁的包围区域内，所述第一管脚、第二管脚和第三管脚皆由镀金的科伐合金构成；

所述五叉臂面弯曲模石英音叉谐振器片的公共重叠基区的两侧设有两枚与五叉臂面弯曲模石英音叉谐振器片同样切型石英晶体的一体化突出支撑梁，其切型是(yxtl)-24°～-50°/5°～15°石英晶体，两个支撑梁分别置于所述第一条形纵向槽和第二条形纵向槽内，且支撑梁与条形纵向槽结合成一体结构，两个支撑梁通过金属汇流条与管脚电连接；

所述的石英音叉真空敏感谐振器抗污防潮过滤帽位于所述可伐合金-——玻璃管座底盘和科伐合金侧壁一体结构的上端，所述石英音叉真空敏感谐振器抗污防霉过滤罩与所述石英真空敏感谐振器管座过盈配合，所述石英音叉真空敏感谐振器抗污防霉过滤罩包围第一条形槽和第二条形槽，使所述五叉臂面弯曲模石英音叉谐振器片与周边环境隔离。

2.根据权利要求1所述的一种单片式面弯曲模双耦合五叉臂石英音叉真空敏感谐振器，其特征在于：所述面弯曲模的单片型双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器片为第一单片型面弯曲模双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器片；

所述第一单片型面弯曲模双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器片由两组各自具有五叉臂的石英音叉——第一组五叉臂的单闭端石英音叉和第二组五叉臂的单闭端石英音叉，并在它们自己的基区相互完全重叠或部分重叠的公共重叠基区的内发生面弯曲振动模式耦合构成的双开端音叉式石英谐振器，它的第一组五叉臂的单闭端石英音叉位于第一单片型面弯曲模双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器片的上方，第二组五叉臂的单闭端石英音叉位于第一单片型面弯曲模双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器片的下方，两者位于同一片石英晶片上，它们的基区相对设置，并且关于公共重叠基区的中央对称面是轴对称的；

所述第一单片型面弯曲模双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器片的公共重叠基区的左右两端分别设有两枚于其同样切型石英晶体的一体化突出支撑梁，即第一支撑梁和第二支撑梁，所述第一支撑梁和第二支撑梁分别置于所述第一条形纵向槽和第二条形纵向槽内，且支撑梁与条形纵向槽结合成一体结构；

所述第一支撑梁上设有两枚相互绝缘的但可焊接导线的第一金属汇流条和第二金属汇流条，所述第二支撑梁上设有两枚相互绝缘的但可焊接导线的第三金属汇流条和第四金属汇流条，第一金属汇流条与第一管脚电连接，第三金属汇流条与第三管脚电连接，第二金属汇流条、第四金属汇流条都与第二管脚电连接，并与公共地线相连。

3.根据权利要求2所述的一种单片式面弯曲模双耦合五叉臂石英音叉真空敏感谐振器，其特征在于：所述第一单片型面弯曲模双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器片的第一组五叉臂的单闭端石英音叉包括臂宽为W1的第一叉臂、臂宽为W2的第二叉臂、臂宽为W0的第三叉臂、臂宽为W2的第四叉臂、臂宽为W1的第五叉臂；第二组五叉臂的单闭端石英音叉包括臂宽为W1的第六叉臂、臂宽为W2的第七叉臂、臂宽为W0的第八叉臂、臂宽为W2的第九叉臂、臂宽为W1的第十叉臂；第一组五叉臂的单闭端石英音叉和第二组五叉臂的单闭端石英音叉的各叉臂长度方向彼此相互平行，并且皆与石英晶体的X′轴方向同向，而每组五叉臂的单闭端石英音叉的叉臂宽度方向都是与石英晶体的Z〃轴方向平行，每组五叉臂的单闭端石英音叉的叉臂的厚度方向都是与石英晶体的Y′轴方向平行；第一组五叉臂的单闭端石英音叉与第二组五叉臂的单闭端石英音叉都是基波面弯曲振动模式工作。