[发明专利]一种激光透射精密旋转定位调节装置有效
申请号: | 202210081411.2 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN114413767B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 连克难;赵功;徐猛;杨碧颖;李月;王骁;涂飞;徐刚 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/26 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 伍旭伟 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 透射 精密 旋转 定位 调节 装置 | ||
本发明公开了一种激光透射精密旋转定位调节装置,涉及光学精密检测技术领域,主要包括底座、旋转驱动机构以及精密测量元件,底座上可转动地设置有转盘,转盘的端面上开设有多个用于光束穿过的透射孔,透射孔沿其轴向至少一侧的投影能够落在底座之外,透射孔一侧用于连接能够对光束进行缩束的光束过滤元件;旋转驱动机构用于驱动转盘自转,以使每个透射孔均能够绕转盘的轴向转动;精密测量元件安装在底座和/或转盘上,并用于测量转盘的转动位移。该装置能够适应多孔切换的情形进行光路准直,同时通过精密测量元件把控多孔切换时的精度,从而满足多孔切换且准确定位的要求。
技术领域
本发明涉及光学精密检测技术领域,具体而言,涉及一种激光透射精密旋转定位调节装置。
背景技术
强激光透射精密旋转定位调节装置是光学工程中使用的精密运动装置,其主要功能是实现激光光束的缩束、穿孔控制及激光光束滤波组件的稳定支撑、精确定位和快速切换,满足光学过程中不同能量的光束在不同运行条件下的滤波要求。而现有的精密旋转定位调节装置中,大多是针对单孔缩束进行定位准直,即使存在多孔定位准直的情形,也会有多孔切换精度低而影响检测结果的情形。
有鉴于此,特提出本申请。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光透射精密旋转定位调节装置,该装置能够适应多孔切换的情形进行光路准直,同时通过精密测量元件把控多孔切换时的精度,从而满足多孔切换且准确定位的要求。
本发明的实施例是这样实现的:
一种激光透射精密旋转定位调节装置,包括底座、旋转驱动机构以及精密测量元件,底座上可转动地设置有转盘,转盘的端面上开设有多个用于光束穿过的透射孔,透射孔沿其轴向至少一侧的投影能够落在底座之外,透射孔一侧用于连接能够对光束进行缩束的光束过滤元件;旋转驱动机构用于驱动转盘自转,以使每个透射孔均能够绕转盘的轴向转动;精密测量元件安装在底座和/或转盘上,并用于测量转盘的转动角度。
在可选地实施方式中,多个透射孔划分为多组,每组均包括多个透射孔,每组透射孔内均包括第一透射孔和第二透射孔,且第二透射孔的数量大于第一透射孔的数量,第二透射孔与转盘中心之间的距离小于第一透射孔与转盘中心之间的距离。
在可选地实施方式中,每组透射孔内均包括呈等腰三角分布的一个第一透射孔和两个第二透射孔,其中,第一透射孔位于顶角处,且该第一透射孔与其中一个第二透射孔之间的连线穿过转盘中心。
在可选地实施方式中,相邻第一透射孔之间以转盘中心为顶点相隔60°。
在可选地实施方式中,精密测量元件包括光栅尺和读数头,光栅尺沿转盘的圆周布置,读数头安装在底座上,并通过读取光栅尺的转动位移来测量转盘的转动角度。
在可选地实施方式中,底座上设置有可转动的转轴,转盘中心设置有轴孔,转盘通过其轴孔套设在转轴上,旋转驱动机构用于驱动转轴进行转动。
在可选地实施方式中,旋转驱动机构包括步进电机和行星减速器,步进电机的输出端与行星减速器的输入端连接,行星减速器的输出端通过联轴器与转轴连接;其中,步进电机的步距角小于等于0.9°,行星减速器的减速比大于等于200,转盘的外径小于等于230mm。
在可选地实施方式中,底座远离转盘的一侧设置有定位组件,定位组件包括第一定位块、第二定位块和第三定位块,第一定位块一侧表面与底座固定连接,另一侧表面为平整面;第二定位块一侧表面与底座固定连接,另一侧表面加工有定位槽,定位槽的槽向与透射孔的轴向一致,且定位槽沿其槽口至槽底的方向逐渐收口;第三定位块一侧表面与底座固定连接,另一侧表面加工有定位孔,定位孔沿其孔口至孔底的方向逐渐收口。
在可选地实施方式中,定位槽的断面形状呈“V”形,且定位槽的两端贯通第二定位块的两侧;定位孔的轴向与透射孔的轴向相互垂直。
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