[发明专利]一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法

权利要求书

1.一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述分子玻璃光刻胶是由式(Ⅰ)所示的分子玻璃成膜树脂与光致产酸剂(PAG)、光可降解碱(PDB)和溶剂共混而成的组合物；

其中R₁,R₂＝H,OH,O或t-boc。

2.根据权利要求1所述的一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述的分子玻璃成膜树脂由共聚单体在溶剂中进行共聚反应制备而成；所述共聚单体为摩尔比为3:1的胆酸衍生物和1,3,5-金刚烷三甲酰氯。

3.根据权利要求2所述的一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述胆酸衍生物单体是指具有化学通式(Ⅱ)所示的结构的至少一种化合物：

其中R₁,R₂＝H,OH,O。

4.根据权利要求2所述的一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述1,3,5-金刚烷三甲酰氯是指具有化学式(Ⅲ)所示的化合物：

5.根据权利要求2所述的一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述分子玻璃成膜树脂的制备包含如下步骤：

(1)在惰性气体状态下将摩尔比为3:1的胆酸衍生物和1,3,5-金刚烷三甲酰氯溶于溶剂。

(2)搅拌中缓慢滴加三乙胺产生沉降。

(3)反应20小时后用去离子水猝灭。

(4)用乙酸乙酯萃取3次。

(5)用饱和浓盐水洗涤。

(6)过滤、干燥滤饼，得到成膜树脂。

6.根据权利要求1所述的一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述光致产酸剂(PAG)为三氟甲烷磺酸二苯基碘鎓、三氟甲烷磺酸(4-甲氧基苯基)苯基碘鎓、三氟甲烷磺酸二(对-叔丁基苯基)碘鎓、三氟甲烷磺酸三苯基锍、三氟甲烷磺酸(4-甲氧基苯基)二苯基锍、九氟丁烷磺酸(4-甲基苯基)二苯基锍、三氟甲烷磺酸(对-叔丁基苯基)二苯基锍、九氟丁烷磺酸二苯基碘鎓、九氟丁烷磺酸二(对-叔丁基苯基)碘鎓、环己基甲基(2-氧基环己基)硫鎓三氟甲烷磺酸盐和三苯基硫鎓单硝基苯并噻吩-2-磺酸盐中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述的光可降解碱(PDB)为三烷基硫鎓氢氧化物、二烷基碘鎓氢氧化物、氨基磺酸酯和环己氨基磺酸铵盐中的至少一种。

8.根据权利要求1或5所述的一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，其特征在于：所述溶剂为四氢呋喃、N-甲基吡咯烷酮、丙二醇甲醚乙酸酯、甲苯、二甲苯、二氯甲烷、二氯乙烷、三氯乙烷、氯仿、二氧六环、二甲基甲酰胺、丙酮、环戊酮、环己酮、丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮中的至少一种。