[发明专利]一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架

权利要求书

1.一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架，其特征在于，包括支撑座(1)和连接架(2)，所述连接架(2)位于支撑座(1)的外侧位置，且连接架(2)的底部靠近两侧位置均固定安装有安装板(3)，所述安装板(3)的内部贯穿连接有安装销(4)，所述支撑座(1)的顶部放置有供气瓶(5)，所述供气瓶(5)的顶部卡设有卡接机构(6)，所述连接架(2)的上表面靠近两侧位置均固定安装有调节阀座(7)，所述供气瓶(5)的输出端连接有输出管(8)，所述输出管(8)与调节阀座(7)之间连接有传输管(9)，且输出管(8)的外表面套设有开关旋钮(10)，所述支撑座(1)和连接架(2)之间连接有拉紧防护机构(11)，所述调节阀座(7)的顶部连接有调节旋钮(12)，且调节阀座(7)的外表面连接有排空管(13)，所述排空管(13)的外表面套设有排空阀门(14)，所述调节阀座(7)的内侧连接有导气管(15)，且调节阀座(7)的外侧连接有压力表(16)，所述导气管(15)的外表面靠近中间位置连接有三通阀座(17)，所述三通阀座(17)的外表面连接有供气管(18)，且三通阀座(17)的上表面靠近两侧位置均连接有电磁阀(19)，所述三通阀座(17)的内部靠近顶部位置开设有导气孔(20)，且三通阀座(17)的内部靠近中间开设有调节空腔(21)，所述三通阀座(17)的内部连接有切换驱动机构(22)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架，其特征在于，所述卡接机构(6)包括弧形卡块(601)、连接板(602)、缓冲气垫(603)、限位座(604)、限位柱(605)、伸缩弹簧(606)、单向排气头(607)、充气头(608)和过滤嘴(609)，所述弧形卡块(601)设置在支撑座(1)的上方位置，所述连接板(602)固定于弧形卡块(601)的底部靠近两侧的位置，所述缓冲气垫(603)粘接在弧形卡块(601)的内侧，所述限位座(604)嵌入至支撑座(1)的内部，所述限位柱(605)固定于连接板(602)的下表面，所述伸缩弹簧(606)的一端固定于限位柱(605)的底端，且伸缩弹簧(606)的另一端延伸至限位座(604)的内部，所述单向排气头(607)均匀的设置在缓冲气垫(603)的内侧，所述充气头(608)设置在缓冲气垫(603)的外表面，所述过滤嘴(609)设置在充气头(608)和充气头(608)的衔接处。

3.根据权利要求2所述的一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架，其特征在于，所述弧形卡块(601)通过连接板(602)、限位座(604)、限位柱(605)和伸缩弹簧(606)与支撑座(1)卡合连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架，其特征在于，所述拉紧防护机构(11)包括固定柱(1101)、拉紧杆(1102)、防护架(1103)、螺纹销(1104)和螺纹槽(1105)，所述固定柱(1101)固定于支撑座(1)的上表面，所述拉紧杆(1102)的一端固定于连接架(2)的外表面，且拉紧杆(1102)的另一端抵紧在固定柱(1101)的顶部，所述螺纹销(1104)贯穿于固定柱(1101)的顶部，且螺纹销(1104)的端头延伸至拉紧杆(1102)的内部，所述螺纹槽(1105)开设在固定柱(1101)和拉紧杆(1102)的内部。

5.根据权利要求4所述的一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架，其特征在于，所述拉紧杆(1102)通过螺纹销(1104)和螺纹槽(1105)与固定柱(1101)固定连接。