[发明专利]全息式显微镜及其使用方法在审
申请号: | 202210084160.3 | 申请日: | 2022-01-25 |
公开(公告)号: | CN116007490A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 张玮刚 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01B9/04 | 分类号: | G01B9/04;G01B11/06;G01B11/22;G01N21/45;G02B21/06;G03H1/00;G03H1/12 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张博 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 全息 显微镜 及其 使用方法 | ||
1.一种全息式显微镜,用于观察待测样品,其特征在于,包括:
光源,用于提供照明光束;
分光组件,配置于所述照明光束的传递路径上,所述照明光束传递通过所述分光组件以形成第一光束以及第二光束,且所述待测样品配置于所述第一光束的传递路径上;以及
偏光组件,配置于所述第一光束或所述第二光束的传递路径上,接收来自所述分光组件的所述第一光束或所述第二光束;
相位调制组件,配置于所述第一光束或所述第二光束的传递路径上;
合光组件,配置于所述第一光束及所述第二光束的传递路径上,所述第一光束及所述第二光束传递至所述合光组件以形成干涉光束;以及
感光组件,配置于所述干涉光束的传递路径上,用于接收所述干涉光束以产生光学信号。
2.根据权利要求1所述的全息式显微镜,其特征在于,所述全息式显微镜还包括:
第一物镜,配置于所述第一光束的传递路径上,所述第一物镜位于所述待测样品与所述合光组件之间;以及
第二物镜,配置于所述第二光束的传递路径上,其中所述第一物镜的光学规格与所述第二物镜的光学规格相同。
3.根据权利要求2所述的全息式显微镜,其特征在于,所述第一物镜连接于所述合光组件,所述第二物镜连接于所述合光组件,且所述第一物镜与所述第二物镜连接至所述合光组件的不同侧。
4.根据权利要求1所述的全息式显微镜,其特征在于,所述分光组件为偏振分光棱镜,所述偏光组件为半波片,所述相位调制组件为液晶相位调制器,且所述合光组件为分光镜。
5.根据权利要求1所述的全息式显微镜,其特征在于,所述全息式显微镜还包括:
透镜模块,配置于所述干涉光束的传递路径上,且位于所述合光组件与所述感光组件之间。
6.根据权利要求1所述的全息式显微镜,其特征在于,所述偏光组件配置于所述第一光束与所述第二光束其中之一的传递路径上,且所述相位调制组件配置于所述第一光束与所述第二光束其中另一的传递路径上。
7.根据权利要求1所述的全息式显微镜,其特征在于,所述相位调制组件位于所述偏光组件与所述待测样品之间。
8.根据权利要求1所述的全息式显微镜,其特征在于,所述偏光组件及所述相位调制组件都配置于所述第一光束或所述第二光束的传递路径上。
9.根据权利要求8所述的全息式显微镜,其特征在于,所述相位调制组件位于所述偏光组件与所述待测样品之间。
10.根据权利要求1所述的全息式显微镜,其特征在于,所述光源为激光装置。
11.根据权利要求10所述的全息式显微镜,其特征在于,所述全息式显微镜,还包括:
滤波组件,配置于所述照明光束的传递路径上,位于所述光源与所述分光组件之间。
12.一种全息式显微镜的使用方法,用于观察待测样品,其特征在于,所述全息式显微镜包括光源、分光组件、偏光组件、相位调制组件、合光组件以及感光组件,所述全息式显微镜的使用方法包括:
提供照明光束至所述分光组件以形成第一光束以及第二光束;
传递所述第一光束及所述第二光束的其中一者通过所述偏光组件;
传递所述第一光束及所述第二光束的其中一者通过所述相位调制组件;
传递所述第一光束通过所述待测样品;
传递所述第一光束及所述第二光束至所述合光组件以形成干涉光束;以及
传递所述干涉光束至所述感光组件以产生光学信号。
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