[发明专利]一种深紫外的显微镜成像物镜

权利要求书

1.一种深紫外的显微镜成像物镜，其特征在于，其等效数值孔径为0.75~0.85，工作波长

为190~200 nm，等效焦距为3-8mm，放大率为100-200倍，成像于无穷远；其由沿着光轴顺序排列的6片球面镜片组成：第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、第五镜片和第六镜片，其中第一镜片、第三镜片、第四镜片和第五镜片为正透镜，第二镜片和第四镜片为负透镜。

2.根据权利要求1所述的显微镜成像物镜，其特征在于，第一镜片、第二镜片和第四镜片

的制作材料为石英，第三镜片、第五镜片、第六镜片的制作材料为氟化钙。

3.根据权利要求1所述的显微镜成像物镜，其特征在于，6片球面镜片的正反面均镀有减

反膜。

4.根据权利要求1所述的显微镜成像物镜，其特征在于，其等效焦距为6mm，放大率为150倍。

5.根据权利要求1所述的显微镜成像物镜，其特征在于，其和筒镜配合使用，物镜与筒镜

分立在光瞳两侧，筒镜由沿着光轴顺序排列的3片球面镜片组成：第七镜片、第八镜片和第九镜片；第七镜片、第九镜片由熔融石英材料制作，第八镜片由氟化钙制作，筒镜每个镜片的正反面均镀有减反膜。

6.根据权利要求5所述的显微镜成像物镜，其特征在于，筒镜的筒长为300~1600 mm。

7.根据权利要求5所述的显微镜成像物镜，其特征在于，筒镜的筒长为900 mm。

8.根据权利要求5所述的显微镜成像物镜，其特征在于，视场大小为30~50µm，像场大小

为3~10 mm。

9.根据权利要求5所述的显微镜成像物镜，其特征在于，其设计采用ZemaxOpticStudio软

件计算，其工作距离为0.2 mm，分辨率为58-64nm半周期。