[发明专利]一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备

说明书

本发明公开了一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备，包括：一传送机构；多个夹具，沿所述传送机构的移动方向间隔设置在所述传送机构上；沿所述传送机构的移动方向设置有滴胶区、烘干区；一滴胶机构，位于所述滴胶区，布置于所述夹具的上方；一烘干机构，位于所述烘干区，布置于所述夹具的上方，沿所述传送机构的移动方向，所述烘干机构位于所述滴胶机构的下游侧。利用多个夹具夹持固定多个晶圆，利用传送机构带动夹具连续传送。利用滴胶机构向晶圆上滴加光刻胶。在匀胶后，利用烘干机构进行烘干处理。本实施例集合滴胶、烘干一体化处理，可以多个晶圆连续处理，效率高。

技术领域

本发明涉及晶圆处理技术领域，尤其涉及一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备。

背景技术

光刻胶经涂胶机涂覆后需进行烘烤，以挥发出光刻胶中的溶剂，保证光刻胶具有足够的硬度抵挡后续的刻蚀-去除(Etch-Trim)工艺中离子束的冲击，使刻蚀后的台阶层线条均匀笔直。

在中国专利申请号：CN201921844380.1中公开了一种光刻胶烘干装置，用于烘干涂覆在晶圆上的光刻胶，所述光刻胶烘干装置包括：至少一上烘干板、至少一下烘干板及一控制装置；所述上烘干板与所述下烘干板间隔设置，所述晶圆用于设置在所述上烘干板与下烘干板之间；所述控制装置分别与所述上烘干板及所述下烘干板连接，并控制所述上烘干板及所述下烘干板升温，以烘干所述光刻胶。

在中国专利申请号：CN201410612630.4中公开了一种硅片匀胶烘干操作台，包括操作台本体、匀胶机和烘干装置，在所述操作台本体桌面上设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板，所述开关设置在操作台本体的桌面一侧，所述加热丝位于烘干板下方，所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。

在中国专利申请号：CN201510886017.6中公开了一种自动硅片匀胶机，包括机柜、上料机构、涂胶机构、烘干机构、移片机构、下料机构、片篮和电气控系统，上料机构、下料机构分别固定于机柜的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构和下料机构间，依次固定涂胶机构、烘干机构，移片机构固定工作台的下面，移片机构的载片位于涂胶机构、烘干机构的上方。

上述技术方案效率低，有待进一步改进。

发明内容

为解决背景技术中存在的至少一个方面的技术问题，本发明提出一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备。

本发明提出的一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备，包括：

一传送机构；

多个夹具，沿所述传送机构的移动方向间隔设置在所述传送机构上；

沿所述传送机构的移动方向设置有滴胶区、烘干区；

一滴胶机构，位于所述滴胶区，布置于所述夹具的上方；

一烘干机构，位于所述烘干区，布置于所述夹具的上方，沿所述传送机构的移动方向，所述烘干机构位于所述滴胶机构的下游侧。

优选地，所述滴胶机构包括：

一供液箱；

多个滴胶管，沿一圆周方向均匀分布，位于所述夹具的上方，并均与所述供液箱连通。

优选地，所述夹具包括：

一吸气机构，设置在所述传送机构上；

一第一吸气箱，设置在所述传送机构上，与所述吸气机构连接；

一第二吸气箱，设置在所述第一吸气箱并与所述第一吸气箱连通；

三个吸附管，沿一旋转方向均匀间隔安装在所述第二吸气箱上，并与所述第二吸气箱连通。

优选地，所述第二吸气箱与所述第一吸气箱转动连接；