[发明专利]一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法

权利要求书

1.一种镁锌铝镍钒合金靶材，所述合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁锌30-60％，铝10-40％、镍10-40％、钒10-40％，其中，镁锌中镁和锌的原子百分比为1:1。

2.根据权利要求1所述的镁锌铝镍钒合金靶材，其特征在于，所合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁锌为35-50％，铝为15-25％、镍为15-25％、钒为10-20％，其中，镁锌中镁和锌的原子百分比为1:1；

优选地，所述合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁25％、锌25％、铝20％、镍20％和钒10％；

优选地，所述镁锌铝镍钒合金靶材的相对密度超过99％；所述镁锌铝镍钒合金靶材包括Al相、MgZn相、Ni相和V相。

3.一种如权利要求1或2所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，包括如下步骤：金属粉末的制备、预压处理和热压处理；其中，

金属粉末的制备：按照上述镁锌铝镍钒合金靶材的成分设计要求，将镁锌源、铝源、镍源和钒源进行混料，得到金属粉末；

预压处理：对所述金属粉末进行预压处理，得到合金压坯；

热压处理，对所述合金压坯在真空条件下进行热压处理，得到镁锌铝镍钒合金靶材。

4.根据权利要求3所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，其特征在于，还包括后处理步骤，对所述镁锌铝镍钒合金靶材进行机加工，清洗后得到所需要的成品合金靶材。

5.根据权利要求3所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，其特征在于，所述金属粉末的制备步骤中，所述镁锌源是镁锌(MgZn)合金粉，所述铝源是铝粉，所述镍源是镍粉，所述钒源是钒粉；

优选地，所述铝粉、镍粉和钒粉的纯度分别为99.6wt％以上，MgZn合金粉的纯度为99.5wt％以上；再优选地，所述铝粉、镍粉和钒粉的纯度分别为99.9wt％以上，MgZn合金粉的纯度为99.8wt％以上；

优选地，所述铝粉、镍粉和钒粉的平均粒度为20-150μm，所述MgZn合金粉的平均粒度为20-150μm；

优选地，所述镁锌合金粉采用常规镁源和常规锌源，按照镁锌原子百分比为1:1制备得到镁锌合金粉。

6.根据权利要求3所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，其特征在于，所述金属粉末的制备步骤中，所述混料在惰性气体保护条件下进行，混粉过程中不放入氧化锆小球；

优选地，所述金属粉末的制备步骤中，所述混料在三维混料机中进行；

优选地，所述金属粉末的制备步骤中，当采用三维混料机进行原料的混合时，所述混料在惰性气体保护条件下进行，混料时间为3-5h。

7.根据权利要求3、5或6所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，其特征在于，所述金属粉末的制备步骤中，所述金属粉末的平均粒度为20-150μm。

8.根据权利要求3所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，其特征在于，所述预压处理步骤中，所述预压处理在常温大气下，所述预压处理的压力为8～15MPa，保压时间为2～5min。

9.根据权利要求3所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，其特征在于，所述热压处理步骤中，所述热压处理的保温温度为500-1000℃，保温时间为0.5-2h，压力为30-80MPa，保温时真空度控制在0.9*10^-3Pa-1.1*10^-3Pa。

10.根据权利要求9所述的镁锌铝镍钒合金靶材的制备方法，其特征在于，所述热压处理步骤中，所述热压处理的保温温度为600-900℃，优选为750-850℃。