[发明专利]一种新型液口距校准方法

说明书

本发明公开了一种新型液口距校准方法，涉及单晶硅制作技术领域。本发明校准方法包括以下步骤：步骤1：通过测量炉体的尺寸，从而设置对应的热屏盖板工装；步骤2：将热屏下口封起来；步骤3：通过空炉合炉使热屏下降到下限；步骤4：利用籽晶的晶体位置准确到达热屏下沿；步骤5:再通过晶体位置的变化量测量出炉内实际的液口距。本发明的整体方法应用后，操作简单，只需要增加一个热屏盖板工装辅助即可精确测量炉内实际液口距，不增加工时，不增加人工成本，液口距偏差在±1mm以内，集中度高，一致性好。

技术领域

本发明涉及单晶硅制作技术领域，具体为一种新型液口距校准方法。

背景技术

在拉制单晶硅棒的过程中，始终无法通过一种有效的手段解决生产现场员工引放液口距放置一致性差的问题，老员工根据经验，每个人放置的液口距也不大相同；新员工因为经验欠缺，对液口距放置做不到准确一致，偏大或者偏小较多；集中控制也无法做到液口距放置一致性，该问题一直困扰着众多单晶从业者，而液口距问题是断线的主要因素，极大的影响着生产现场的产量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型液口距校准方法，以解决现有的问题：对液口距放置做不到准确一致，偏大或者偏小较多，集中控制也无法做到液口距放置一致性。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型液口距校准方法，所述校准方法包括以下步骤：

步骤1：通过测量炉体的尺寸，从而设置对应的热屏盖板工装；

步骤2：将热屏下口封起来；

步骤3：通过空炉合炉使热屏下降到下限；

步骤4：利用籽晶的晶体位置准确到达热屏下沿；

步骤5:再通过晶体位置的变化量测量出炉内实际的液口距。

优选的，所述设置热屏盖板工装包括以下步骤：

S1：将热屏盖板工装的四端放置在热屏下口处；

S2：在热屏盖板工装的四端开设定位孔；

S3：在定位孔内搭载皮筋；

S4：利用皮筋将热屏盖板工装固定在热屏处。

热屏盖板工装采用碳碳材质，轻便易拿，可以绑在热屏下口，籽晶到达热屏下沿的时候也可以有效监测到；

液口距位置＝晶体位置2＝晶体位置1-液口距标准值；

引放液口距放置偏差在±1mm以内；

设计到自动化程序中，不再通过人员观察判断；

可以与集中控制系统无缝衔接，保证液口距放置的一致性。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明方法操作简单，只需要增加一个热屏盖板工装辅助即可精确测量炉内实际液口距；

2、本发明方法不增加工时，不增加人工成本；

3、本发明方法液口距偏差在±1mm以内，集中度高，一致性好

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明热屏盖板工装的示意图；

图2为本发明整体示意图。

具体实施方式