[发明专利]电弧蒸发装置

说明书

一种电弧蒸发装置，包括腔室、夹具装置以及阴极弧源装置。所述夹具装置设置于所述腔室中。所述夹具装置经配置以夹取待加工工件。所述阴极弧源装置设置于所述腔室中并设置于所述夹具装置上方。所述阴极弧源装置包括经配置以作为靶材的第一阴极弧源和第二阴极弧源。所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源设置于不同水平位面。

技术领域

本申请涉及一种装置，详细来说，是有关于一种电弧蒸发装置。

背景技术

在现有技术中，当要对带状工件(例如带锯条)进行镀膜时，带状工件会以螺旋状放置在夹具装置上，并且在进行工艺时会旋转夹具装置。然而，当夹具装置带动带状工件旋转时，靠近带状工件的螺旋状中心处的旋转速度较慢而远离带状工件的螺旋状中心处的旋转速度较快，如此会使得在螺旋状中心处的镀膜涂层厚度较厚而远离螺旋状中心处的镀膜涂层厚度较薄，造成较差的镀膜均匀性，进而使得在使用带状工件时，涂层较薄的位置在使用时会比涂层较厚的位置先磨损。

发明内容

有鉴于此，本申请提供一种电弧蒸发装置来解决上述问题。

依据本申请的一实施例，提供一种电弧蒸发装置。所述电弧蒸发装置包括腔室、夹具装置以及阴极弧源装置。所述夹具装置设置于所述腔室中。所述夹具装置经配置以夹取待加工工件。所述阴极弧源装置设置于所述腔室中并设置于所述夹具装置上方。所述阴极弧源装置包括经配置以作为靶材的第一阴极弧源和第二阴极弧源。所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源设置于不同水平位面。

依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源与水平位面的夹角在15-45度的范围。

依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源与水平位面的夹角为40度。

依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源呈现圆盘状。

依据本申请的一实施例，所述圆盘的直径在30-160毫米的范围。

依据本申请的一实施例，所述阴极弧源装置还包括与所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源设置于不同水平位面的第三阴极弧源。

依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源、所述第二阴极弧源和所述第三阴极弧源在垂直方向上等距设置。

依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源加载不同的弧电流。

依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源中距离所述夹具装置较近者所加载的弧电流高于所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源中距离所述夹具装置较远者所加载的弧电流。

附图说明

附图是用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本申请，但并不构成对本申请的限制。在附图中：

图1演示依据本申请一实施例之电弧蒸发装置的方块示意图。

图2演示依据本申请一实施例之电弧蒸发装置的前视视图。

具体实施方式

以下揭示内容提供了多种实施方式或例示，其能用以实现本揭示内容的不同特征。下文所述之组件与配置的具体例子系用以简化本揭示内容。当可想见，这些叙述仅为例示，其本意并非用于限制本揭示内容。举例来说，在下文的描述中，将一第一特征形成于一第二特征上或之上，可能包括某些实施例其中所述的第一与第二特征彼此直接接触；且也可能包括某些实施例其中还有额外的组件形成于上述第一与第二特征之间，而使得第一与第二特征可能没有直接接触。此外，本揭示内容可能会在多个实施例中重复使用组件符号和/或标号。此种重复使用乃是基于简洁与清楚的目的，且其本身不代表所讨论的不同实施例和/或组态之间的关系。