[发明专利]一种氮化镓物料中镓含量的检测方法

权利要求书

1.一种氮化镓物料中镓的检测方法，其特征在于：将氮化镓物料置于石墨坩埚内，采用中频感应加热方式实现加热进行氮化镓的热分解反应，待热分解反应完成后随炉冷却，将石墨坩埚内的金属镓直接收集，并通过热盐酸冲洗回收粘附在石墨坩埚内壁的残余金属镓，用分液漏斗将镓与其他杂物分离，将收集的金属镓合并，通过称重法计算镓含量。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓物料中镓的检测方法，其特征在于：所述石墨坩埚由等静压石墨制成；所述石墨坩埚的坩埚盖上设有泄压口。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓物料中镓的检测方法，其特征在于：所述热分解反应的条件为：在保护气氛下，于900℃～1200℃温度下，保温5～20min。

4.根据权利要求1所述的一种氮化镓物料中镓的检测方法，其特征在于：所述保护气氛为氩气、氮气和氦气中至少一种，流量为2～20L/min。

5.根据权利要求1所述的一种氮化镓物料中镓的检测方法，其特征在于：所述热盐酸的质量百分比浓度为5％～15％。

6.根据权利要求1或5所述的一种氮化镓物料中镓的检测方法，其特征在于：所述热盐酸的温度为60℃～80℃。

7.根据权利要求1所述的一种氮化镓物料中镓的检测方法，其特征在于：通过热盐酸冲洗所得盐酸和液态镓混合液通过分液漏斗分离得到液态镓。