[发明专利]一种镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结及其制备方法

权利要求书

1.一种镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结，其特征在于：

包括柔性衬底以及至少一次依次铺覆于柔性衬底上的自支撑镧锶锰氧薄膜和自支撑掺铝氧化锌薄膜；

或者，

包括柔性衬底以及至少一层依次铺覆于柔性衬底上的自支撑掺铝氧化锌薄膜和自支撑镧锶锰氧薄膜。

2.根据权利要求1所述镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结，其特征在于：

所述自支撑镧锶锰氧薄膜中镧、锶、锰、氧四种元素摩尔比为镧∶锶∶锰∶氧＝1-x∶x∶1∶3(0x1)；

所述自支撑掺铝氧化锌薄膜中锌和铝两种元素摩尔比为y∶1(1y100)。

3.根据权利要求1或2所述镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结，其特征在于：

其厚度为30-1000nm，

其中，自支撑镧锶锰氧薄膜厚度为20-600nm，自支撑掺铝氧化锌薄膜厚度为20-600nm。

4.根据权利要求3所述镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结，其特征在于：

自支撑镧锶锰氧薄膜与自支撑掺铝氧化锌薄膜两者间接触区域形状和大小可根据需要调整。

5.根据权利要求4所述镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结，其特征在于：

所述柔性衬底的材质为聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯和聚对苯二甲酸乙二醇酯中的任一种或几种的复合材料。

6.权利要求1-5任一所述镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)制备自支撑镧锶锰氧薄膜

1.1)在钛酸锶衬底上依次沉积氧化钡牺牲层和氧化锶铝牺牲层；

1.2)在步骤1.1)中沉积有氧化钡牺牲层和氧化锶铝牺牲层的钛酸锶衬底上生长镧锶锰氧层；

1.3)向步骤1.2)生长的镧锶锰氧层表面旋涂含有聚甲基丙烯酸甲酯的有机溶液，得到衬底-薄膜；

1.4)取下步骤1.3)得到的衬底-薄膜，并刮去其边缘的有机物，烘干；

1.5)将步骤1.4)烘干后的衬底-薄膜置于去离子水中，待氧化钡牺牲层和氧化锶铝牺牲层溶解后，得到漂浮于水面的镧锶锰氧-聚甲基丙烯酸甲酯薄膜；

1.6)将镧锶锰氧-聚甲基丙烯酸甲酯薄膜捞起并铺覆于柔性衬底表面，自然干燥，得到柔性衬底-镧锶锰氧-聚甲基丙烯酸甲酯材料体系；

1.7)将步骤1.6)得到的柔性衬底-镧锶锰氧-聚甲基丙烯酸甲酯材料体系置于有机溶剂中浸泡去除聚甲基丙烯酸甲酯，得到铺覆于柔性衬底上的自支撑镧锶锰氧薄膜；

2)制备镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结

2.1)在钛酸锶衬底上先后沉积氧化钡牺牲层和氧化锶铝牺牲层；

2.2)在步骤2.1)中沉积有氧化钡牺牲层和氧化锶铝牺牲层的钛酸锶衬底上生长掺铝氧化锌层；

2.3)向步骤2.2)生长的掺铝氧化锌层表面旋涂含有聚甲基丙烯酸甲酯的有机溶液，得到衬底-薄膜；

2.4)取下步骤2.3)得到的衬底-薄膜，并刮去其边缘的有机物，烘干；

2.5)将步骤2.4)烘干后的衬底-薄膜置于去离子水中，待氧化钡牺牲层和氧化锶铝牺牲层溶解后，得到漂浮于水面的掺铝氧化锌-聚甲基丙烯酸甲酯薄膜；

2.6)将掺铝氧化锌-聚甲基丙烯酸甲酯薄膜捞起并铺覆于步骤1.7)得到的铺覆于柔性衬底上的自支撑镧锶锰氧薄膜上方，自然干燥，得到柔性衬底-镧锶锰氧-掺铝氧化锌-聚甲基丙烯酸甲酯材料体系；

2.7)将步骤2.6)得到的柔性衬底-镧锶锰氧-掺铝氧化锌-聚甲基丙烯酸甲酯材料体系置于有机溶剂中浸泡去除聚甲基丙烯酸甲酯，得到镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结；

或者，

采用与上述相同的方法，先制备铺覆于柔性衬底上的自支撑掺铝氧化锌薄膜，再制备铺覆于所述自支撑掺铝氧化锌薄膜上方的自支撑镧锶锰氧薄膜，形成镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结。