[发明专利]组合测量仪、校准装置及蒸镀系统

说明书

本申请提供一种组合测量仪、校准装置及蒸镀系统，涉及蒸镀技术领域，用于解决现有的校准装置校准效率低的技术问题，该组合测量仪包括水平杆、探针和固定杆；固定杆沿垂向布置，固定杆的一端插装在蒸镀腔室的底壁中心孔内，固定杆的另一端与水平杆连接，水平杆能够水平转动；探针的一端连接在水平杆上，探针相对水平杆在水平方向及垂向上位置可调，固定杆与探针之间的水平距离设定为蒸镀时蒸发源盖子的中心与中心孔之间的预设水平距离；探针的底端用于与蒸发源盖子的顶面接触，探针的底端相对蒸镀腔室的底壁高度设定为符合蒸镀时蒸发源盖子与待蒸镀基板之间的预设高度所对应的高度。本申请提供的组合测量仪用于对蒸发源盖子进行快速校准。

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种组合测量仪、校准装置及蒸镀系统。

背景技术

在显示器件的制作过程中，通常采用蒸发镀膜工艺在待蒸镀基板上形成膜层；蒸发镀膜工艺的原理是将蒸镀材料放置于蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发，形成的蒸镀材料的气体分子沉积到待蒸镀基板上形成膜层。

为了保证蒸镀效果，例如成膜均一性；蒸镀时蒸发源盖子盖设在蒸发源上，对于蒸发源盖子与蒸镀腔室的底壁中心的水平距离、蒸发源盖子与待蒸镀基板之间的高度具有严格的要求。因此，在进行蒸镀前通常需对蒸发源盖子的位置进行校准；然而利用现有的校准装置对蒸发源盖子的位置进行校准时，其校准效率低。

发明内容

鉴于上述问题，本申请实施例提供一种组合测量仪、校准装置及蒸镀系统，能够提升对蒸发源盖子的校准效率。

为了实现上述目的，本申请实施例提供如下技术方案：

本申请实施例第一方面提供了一种组合测量仪，用于校准蒸发源盖子在所述蒸镀腔室内的位置，其中所述蒸发源盖子盖设在蒸发源上，所述组合测量仪包括水平杆以及分别设置在所述水平杆的两端的探针和固定杆；其中，所述固定杆沿垂向布置，所述固定杆远离所述水平杆的一端插装在所述蒸镀腔室的底壁中心孔内，所述固定杆的另一端与所述水平杆连接，且所述水平杆能够相对所述蒸镀腔室的底壁水平转动；所述探针沿垂向布置，所述探针的一端连接在所述水平杆上，所述探针相对所述水平杆在水平方向及垂向上位置可调，所述固定杆之间的水平距离设定为蒸镀时所述蒸发源盖子的中心与蒸镀腔室的底壁中心孔之间的预设水平距离；所述探针的底端用于与蒸发源盖子的顶面接触，所述探针的底端相对所述蒸镀腔室的底壁高度设定为符合蒸镀时所述蒸发源盖子与所述蒸镀腔室的底壁之间的预设高度所对应的高度。

在一种可选的实施例中，所述水平杆与所述固定杆活动连接，且所述水平杆在所述固定杆上的安装高度可调。

在一种可选的实施例中，所述水平杆用于测量所述探针与所述固定杆之间的水平距离，并且所述水平杆沿其延伸方向设置有刻度，所述探针用于测量所述蒸发源盖子与所述水平杆之间的高度，且所述探针沿其延伸方向设置有刻度；所述固定杆用于测量所述水平杆与所述蒸镀腔室的底壁之间的高度，且所述固定杆沿其延伸方向设置有刻度。

在一种可选的实施例中，所述水平杆的第一端设置有开口槽，所述开口槽的开口大小可调；所述固定杆夹设在所述开口槽内。

在一种可选的实施例中，所述开口槽的长度方向与所述水平杆的延伸方向一致；所述开口槽设置有紧固螺栓，用于调整所述开口槽的开口大小。

在一种可选的实施例中，所述组合测量仪还包括高度可调的伸缩支脚；所述伸缩支脚安装在所述蒸镀腔室的底壁上，所述伸缩支脚位于所述探针和所述固定杆之间，且所述伸缩支脚的顶端与所述水平杆抵接。

在一种可选的实施例中，所述水平杆的第二端设置有水平移动孔，所述水平移动孔与所述探针间隙配合，所述探针插装在所述水平移动孔内。

本申请实施例第二方面提供了一种校准装置，包括水平仪和第一方面所述的组合测量仪，所述水平仪设置在所述组合测量仪的水平杆的上表面上。