[发明专利]一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途在审
申请号: | 202210097320.8 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN114481332A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 王波;刘治州;郭熹;单璐璐 | 申请(专利权)人: | 江苏捷捷半导体新材料有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
代理公司: | 南通一恒专利商标代理事务所(普通合伙) 32553 | 代理人: | 梁金娟 |
地址: | 226200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低减重 单晶硅 片制绒 添加剂 制备 方法 及其 用途 | ||
本发明提供一种低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,按重量百分比包括如下组分:糖类0.1%‑10%、醇类0.001%‑1%、缓蚀剂0.001%‑1%,分散剂0.05%‑5%、无机盐0.01%‑1%、表面活性剂0.001%‑0.5%、碱0.01%‑1%,余量为水。本发明利用低减重单晶硅片制绒添加剂在单晶硅表面制绒。利用本发明制备的低减重单晶硅片制绒添加剂在单晶硅表面制绒时,减重小,后续高温工序不易出现弓片,有利于薄片和大尺寸单晶硅片的推广;减重低,对应碱的耗量低,可以降低成本;减重低,反应产物硅酸盐产生量低,可以提升制绒添加剂的寿命。
技术领域
本发明属于化工领域,具体涉及一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途。
背景技术
目前,在单晶硅太阳能电池生产过程中,单晶硅片制绒工序使用KOH或NaOH对硅片表面进行腐蚀,利用各向异性的原理制备出金字塔绒面结构,这种方式因成本低、操作简单、效率高等优点被普遍使用。
硅和KOH反应:Si+KOH+H20==K2SiO3+H2,早期使用KOH和异丙醇(IPA)作为制绒液,IPA起到降低溶液表面张力、协助反应产物H2泡快速脱离和络合反应产物硅酸盐,但是IPA存在用量大(5%-10%),易挥发,对环境有害、反射率仍偏高(12%-14%)等缺点,现在已经更换为添加量较小(0.4%-1%)的制绒添加剂,早期因为切割后单晶硅片表面损伤层较大(5-10um),制绒工序需要匹配较大的腐蚀减重0.4-0.7g,需要将损伤层腐蚀彻底再在单晶硅片表面制备出金字塔绒面结构,现在随着切割技术的提升,切割后单晶硅片的表面损伤层已降至3um左右,单晶硅片厚度也从早期的200-220um降至目前的150-170um,制绒工序需要匹配低减重,否则制绒后单晶硅片太薄,在后续高温工序中容易出现弓片,造成单晶硅太阳能电池生产过程中的碎片率提升,造成极大的成本损失。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途,制备的低减重单晶硅片制绒添加剂能够达到减重低、金字塔尺寸均匀、数量多、反射率低等效果。
为解决上述技术问题,本发明的实施例提供一种低减重单晶硅片制绒添加剂,按重量百分比包括如下组分:糖类0.1%-10%、醇类0.001%-1%、缓蚀剂0.001%-1%,分散剂0.05%-5%、无机盐0.01%-1%、表面活性剂0.001%-0.5%、碱0.01%-1%,余量为水。
其中,所述糖类是环糊精、羧甲基淀粉钠、羟丙基淀粉钠、葡聚糖、明胶中的一种或几种混合;
所述醇类是聚乙二醇200-1000,聚丙二醇200-1000中的一种或几种混合。
其中,所述缓蚀剂是聚乙烯醇、聚丙烯酸钠、腐植酸钠、聚丙烯酰胺中的一种或几种混合。
其中,所述分散剂是木质素磺酸钠、柠檬酸钠、酒石酸钠、硅酸钠、焦磷酸钠、葡萄糖酸钠、羟基乙叉二磷酸四钠、乙二胺四亚甲基膦酸钠中的一种或几种混合。
其中,所述无机盐是氯化钠、硫酸钠、碳酸钠、碳酸氢钠中的一种或几种混合。
其中,所述表面活性剂是十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、十二烷基磷酸钠中的一种或几种混合。
其中,所述碱是氢氧化钠、氢氧化钾的一种或两种混合。
本发明还提供一种低减重单晶硅片制绒添加剂的制备方法,按重量百分比将糖类、醇类、缓蚀剂、分散剂、无机盐、表面活性剂和碱加入去离子水中,混合均匀配制成制绒添加剂溶液;其中,各组分的重量百分比如下:
糖类 0.1%-10%;
醇类 0.001%-1%;
缓冲剂 0.001%-1%;
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