[发明专利]定位装置及扩散炉

说明书

本申请公开了一种定位装置及扩散炉，调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；固定支架通过角度调节装置与底座可转动连接，碳硅桨的一端与固定支架水平连接，控制装置设置在底座上，且与角度调节装置连接；角度传感器、计算模块均设置在固定支架上，角度传感器与计算模块连接，计算模块与控制装置连接；角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和石英舟装载硅片后碳硅桨的角度；计算模块用于计算石英舟空载时和装载硅片后碳硅桨的角度差值，并将信号传输给控制装置；控制装置控制角度调节装置，将固定支架抬升一预设角度，且预设角度等于角度差值。本申请能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种定位装置及扩散炉。

背景技术

在扩散炉工作之前，通常要对碳硅桨的位置进行调整，以保证碳硅桨在移动过程中不会与炉管发生碰撞导致硅片破碎，但是在碳硅桨空载状态下已经调整好的位置，往往会由于在上料后，碳硅桨前段承受托举晶圆的受力而下降，这就导致了在碳硅桨空载前调整的位置与上料后的位置出现了位置误差，增加了碳硅桨碰撞炉管的几率。

如何解决在碳硅桨上料前后，纠正碳硅桨的位置误差，成为本领域亟需解决的问题。

发明内容

本申请的目的是提供一种定位装置及扩散炉，能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。

本申请公开了一种定位装置，用于运送石英舟，所述定位装置包括碳硅桨、调节机构和底座，所述调节机构安装在所述底座上；所述碳硅桨的一端与所述调节机构连接，所述石英舟安装在所述碳硅桨上；所述调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；所述固定支架通过所述角度调节装置与所述底座可转动连接，所述碳硅桨的一端与所述固定支架水平连接，所述控制装置设置在所述底座上，且与所述角度调节装置连接；所述角度传感器、所述计算模块均设置在所述固定支架上，所述角度传感器与所述计算模块连接，所述计算模块与所述控制装置连接；其中，所述角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和所述石英舟装载硅片后所述碳硅桨的角度；所述计算模块用于计算所述石英舟空载时和装载硅片后所述碳硅桨的角度差值，并将信号传输给所述控制装置；所述控制装置控制所述角度调节装置，将所述固定支架抬升一预设角度，且所述预设角度等于所述角度差值。

可选的，所述角度调节装置包括调节板，所述控制装置包括伺服电机，所述调节板设置在所述固定支架与所述底座之间，且与所述固定支架固定连接，所述调节板的一端与所述底座通过转轴连接；所述伺服电机与所述转轴连接，所述伺服电机带动所述转轴，将所述调节板抬升至所述预设角度。

可选的，所述控制装置包括气缸，所述角度调节装置包括气压伸缩柱，所述气压伸缩柱的一端与所述气缸连接，另一端与所述固定支架连接，所述气缸带动所述气压伸缩柱运动，将所述固定支架抬升至所述预设角度。

可选的，所述固定支架包括多个固定螺钉和支架，多个所述固定螺钉设置在所述支架上，且多个所述固定螺钉与所述碳硅桨的端部抵紧，将所述碳硅桨固定在所述支架上。

可选的，所述碳硅桨靠近所述固定支架的一端套设有保护套，多个所述固定螺钉与所述保护套抵紧。

可选的，所述调节机构还包括横向调节件，所述横向调节件的一端与所述底座固定连接，另一端与所述固定支架连接；所述横向调节件平行于所述底座，用于调节所述固定支架水平方向的位置。

可选的，所述调节结构还包括纵向调节件，所述纵向调节件一端与所述底座连接，另一端与所述固定支架连接；所述纵向调节件垂直于所述底座，用于调节所述固定支架竖直方向的位置。

本申请还公开了一种扩散炉，包括炉管，所述扩散炉还包括上述的所述定位装置，所述定位装置与所述炉管连接。