[发明专利]一种高宽容度柔性薄膜压力传感器及其制作工艺

权利要求书

1.一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：包括上电极(1)，和下电极(4)，所述下电极(4)位于上电极(1)的下方，且下电极(4)与上电极(1)之间设置有压感油墨层(2)，所述下电极(4)位于上电极(1)之间靠近压感油墨层(2)的一侧安装有弹性调节结构(3)，所述弹性调节结构(3)的两端分别与下电极(4)与上电极(1)接触。

2.根据权利要求1所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述上电极(1)包括第一绝缘层(11)和第一电极镂空区(12)，所述第一绝缘层(11)位于第一电极镂空区(12)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述下电极(4)包括子传感器(47)、第二绝缘层(45)和第二电极镂空区(46)，所述第二绝缘层(45)位于子传感器(47)和第二电极镂空区(46)之间。

4.根据权利要求3所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述子传感器(47)包括子传感器C(41)、子传感器A(42)、子传感器D(43)和子传感器B(44)，所述子传感器D(43)位于子传感器B(44)的下方，所述子传感器C(41)位于子传感器A(42)的下方。

5.根据权利要求4所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述子传感器A(42)的最小启动压强：1-5Pa，饱和压强：1000Pa，电阻范围：10^5-10^6欧。

6.根据权利要求5所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述子传感器B(44)的最小启动压强：100-300Pa，饱和压强：10^5Pa，电阻范围：10^4-10^5欧。

7.根据权利要求6所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述子传感器C(41)的最小启动压强：1000-3000Pa，饱和压强：10^6Pa，电阻范围：10^3-10^4欧。

8.根据权利要求7所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述子传感器D(43)的最小启动压强：1-2*10^4Pa，饱和压强：10^6Pa，电阻范围：10^2-10^3欧。

9.根据权利要求8所述的一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，其特征在于：所述子传感器C(41)、子传感器A(42)、子传感器D(43)和子传感器B(44)并联。

10.一种高宽容度柔性薄膜压力传感器制作工艺，其特征在于：包括：

S1：将碳黑(5-10份)、碳纳米管(2-5份)、石墨烯(3-8份)、聚氨酯树脂(20-50份)、封闭异氰酸酯固化剂(10-20份)、纳米氧化硅(2-8份)、凹凸棒土(3-8份)、分散剂(10-25份)、流平剂(2份)、消泡剂(1份)和DBE溶剂(50-80份)以一定比例混合，形成压感油墨；

S2：将集成电路印刷至上电极和下电极上；

S3：将第一绝缘层和第二绝缘层分别安装至上电极和下电极上；

S4：将弹性调节结构安装于上电极和下电极之间；

S5：将压感油墨印刷至上电极和下电极之间。