[发明专利]一种半导体激光器准直器件

权利要求书

1.一种半导体激光器准直器件，包括衬底（1）、一个半导体激光器芯片（2）和一个条形光波导（3），所述半导体激光器芯片（2）和所述条形光波导（3）均设置在所述衬底（1）的上表面；其特征在于，还包括设置在衬底（1）的上表面的平板光波导（4），所述半导体激光器芯片（2）的发射端和所述条形光波导（3）的入射端分别与所述平板光波导（4）的侧面贴壁连接；

所述平板光波导（4）包括椭圆弧形的全反射镜（5），所述全反射镜（5）具有两个焦点，所述半导体激光器芯片（2）的发射端设置在所述全反射镜（5）的其中一个焦点处，所述条形光波导（3）的入射端设置在所述全反射镜（5）的另一个焦点处，所述全反射镜（5）用于把入射光束全部反射到所述条形光波导（3）的入射端；所述入射光束为从所述半导体激光器芯片（2）发出并进入所述平板光波导（4）的光束；

所述平板光波导（4）包括两个平直侧面，半导体激光器芯片（2）的发射端垂直地连接在其中一个所述平直侧面处，所述条形光波导（3）的入射端垂直地连接在另一个所述平直侧面处；

所述全反射镜（5）为所述平板光波导（4）的其中一个侧面；

所述平板光波导（4）包括第一侧面（401）、第二侧面（402）和第三侧面（403），所述第一侧面（401）、所述第二侧面（402）和所述第三侧面（403）依次首尾连接，所述第一侧面（401）与所述第二侧面（402）垂直，所述第三侧面（403）为所述全反射镜（5）；所述半导体激光器芯片（2）的发射端与所述第一侧面（401）贴壁连接，所述条形光波导（3）的入射端与所述第二侧面（402）贴壁连接。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述条形光波导（3）与所述平板光波导（4）一体设置。

3.根据权利要求1所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述条形光波导（3）和所述平板光波导（4）的上表面还设置有包层。

4.根据权利要求3所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述包层的折射率小于或等于所述衬底（1）的折射率，所述衬底（1）的折射率小于所述条形光波导（3）和所述平板光波导（4）的折射率。

5.根据权利要求1所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述衬底（1）由二氧化硅制成，所述条形光波导（3）和所述平板光波导（4）由硅、氮化硅或铌酸锂晶体制成。

6.根据权利要求3所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述包层由二氧化硅制成。