[发明专利]一种薄膜感测片及多机协同的压力传感器在审
申请号: | 202210102159.9 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN114486001A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 叶宏;佐佑;汪晓阳;彭道贵 | 申请(专利权)人: | 钛深科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00;G01L1/14;G01L1/20;G01L1/22;G01L1/26 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 梁立耀 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区吉华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 感测片 协同 压力传感器 | ||
本申请涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种薄膜感测片及多机协同的压力传感器,薄膜感测片包括压力感测件和至少两驱动电极和两感测电极,其中压力感测件包括压力感测材料层和阵列电极层,所述阵列电极层设置有行阵列电极和列阵列电极,所述行阵列电极与所述列阵列电极相互交叉以形成多个检测格点,两驱动电极分别与不同的行阵列电极电性连接,两感测电极分别与不同的列阵列电极电性连接,通过驱动电极与感测电极以实现对压力感测件上对应检测格点电参数数据的采集。由于电参数的变化反应了压力的变化,因此外部设备通过薄膜感测片能够得到压力的变化大小,进而能够实现对大面积高密度的压力检测。
技术领域
本申请属于压力传感器领域,尤其涉及一种薄膜感测片及多机协同的压力传感器。
背景技术
目前压力传感器一般采用设定引脚的接口装置,因此压力传感器外接的检测线路是有限的,在需要进行大面积的压力检测时,一般将压力传感器的检测面板做大,这样会导致检测面板上的检测点之间的间隔变宽,相应地会降低压力传感器的检测精度。为了不降低压力传感器的检测精度,通常会采用多个检测点比较密集的压力传感器进行拼接,实现大面积的精密压力检测,随着检测面积的增加,往往需要多个压力传感器,较多数量的压力传感器不便于使用者的安装。
发明内容
本申请的主要目的为提供一种薄膜感测片及多机协同的压力传感器,旨在解决传统的压力传感器在面对大面积检测时检测密度下降,不便于使用者安装使用的问题。
本申请实施例的第一方面提供了一种薄膜感测片,包括:
压力感测件,包括压力感测材料层和阵列电极层,所述阵列电极层设置有行阵列电极和列阵列电极,所述行阵列电极与所述列阵列电极相互交叉以形成多个检测格点,每个所述检测格点和所述压力感测材料层形成一负载传感器元件,所述负载传感器元件被配置为基于受到的压力大小改变至少一个电参数;至少包括两驱动电极和两感测电极,两所述驱动电极分别与不同的行阵列电极电性连接,两所述感测电极分别与不同的列阵列电极电性连接,通过所述驱动电极与所述感测电极以实现对所述压力感测件上对应检测格点电参数数据的采集。
在其中一个实施例中,所述压力感测件上的行阵列电极数与列阵列电极数相等。
在其中一个实施例中,所述驱动电极和所述感测电极均设置有多个引脚,所述驱动电极通过所述引脚与所述行阵列电极电性连接,所述感测电极通过所述引脚与所述列阵列电极电性连接;其中,所有所述驱动电极的引脚数之和大于等于所述压力感测件上的行阵列电极数,所有所述感测电极的引脚数之和大于等于所述压力感测件上的列阵列电极数。
在其中一个实施例中,所述驱动电极为多个,所述感测电极为多个,多个所述驱动电极分别与不同的行阵列电极电性连接,多个所述感测电极分别与不同的列阵列电极电性连接。
在其中一个实施例中,还包括一传感器接口,所述传感器接口用于与外部设备连接;所述驱动电极和所述感测电极均设置在所述传感器接口上。
在其中一个实施例中,还包括多个传感器接口,多个所述传感器接口用于与外部设备连接;多个所述驱动电极和多个所述感测电极分别设置在不同的所述传感器接口上,每个所述传感器接口上均设置有至少一个所述驱动电极和至少一个所述感测电极。
在其中一个实施例中,任意两所述传感器接口上设置的所述驱动电极的数量及所述感测电极的数量均相等,任意两所述驱动电极及任意两所述感测电极上均设置有相同数量的所述引脚。
在其中一个实施例中,所述行阵列电极的数量为64的N倍和/或所述列阵列电极的数量为64的N倍,所述传感器接口数为N个,N个所述传感器接口上均设置有一个所述驱动电极和一个所述感测电极;所述驱动电极和所述感测电极均设置有64个所述引脚。
在其中一个实施例中,所述薄膜感测片采集任意一所述行阵列电极上所有所述检测格点的电参数所需的时间为定值。
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