[发明专利]大口径反射镜检测系统

权利要求书

1.一种大口径非球面反射镜检测系统，其特征在于，包括干涉仪、分光镜、补偿镜组、无像差汇聚透镜组、朗奇光栅、成像镜组和相机；其中，所述分光镜设置在所述干涉仪的出光方向上，所述补偿镜组设置在所述分光镜的反射方向上，所述补偿镜组的焦点与大口径非球面反射镜的顶点球心重合，所述无像差汇聚透镜组、所述朗奇光栅、所述成像镜组和所述相机依次设置在所述分光镜的透射方向上；所述分光镜为分光棱镜或者平板分光镜，所述朗奇光栅的位置不与所述无像差汇聚透镜组的焦点重合；

所述干涉仪发出的平面波入射至所述分光镜，经所述分光镜反射至补偿镜组，所述补偿镜组将所述平面波调制为非球面波后入射至所述大口径非球面反射镜，经所述大口径非球面反射镜反射后原路返回至所述分光镜，一路经所述分光镜反射进入所述干涉仪形成干涉图像，另一路依次透过所述分光镜、所述无像差汇聚透镜组、所述朗奇光栅到达所述成像镜组，通过所述成像镜组在所述相机内形成朗奇条纹图像。

2.如权利要求1所述的大口径非球面反射镜检测系统，其特征在于，所述朗奇光栅为一维光栅、二维光栅、矩形孔光栅或圆形孔光栅中的任意一种。

3.一种大口径球面反射镜检测系统，其特征在于，包括干涉仪、分光镜、无像差汇聚透镜组、朗奇光栅、成像镜组和相机；其中，

所述无像差汇聚透镜组与所述分光镜依次设置在所述干涉仪的出光方向上，且所述无像差汇聚透镜组的焦点与大口径球面反射镜的顶点球心重合，所述朗奇光栅、所述成像镜组和所述相机依次设置在所述分光镜的反射方向上；所述分光镜为分光棱镜或者平板分光镜，所述朗奇光栅的位置不与所述无像差汇聚透镜组的焦点重合；

所述干涉仪发出的平面波依次透过所述无像差汇聚透镜组、所述分光镜入射至所述大口径球面反射镜，经所述大口径球面反射镜反射回所述分光镜，一路透过所述分光镜回到所述干涉仪形成干涉图像，另一路被所述分光镜反射至所述朗奇光栅，穿过所述朗奇光栅后通过所述成像镜组在所述相机内形成朗奇条纹图像。

4.如权利要求3所述的大口径球面反射镜检测系统，其特征在于，所述朗奇光栅为一维光栅、二维光栅、矩形孔光栅或圆形孔光栅中的任意一种。