[发明专利]一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法

权利要求书

1.一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于，包括：

(1)、将产线三氯化铁蚀刻液溢流至蚀刻废液储存桶；

(2)、蚀刻废液储存桶与萃取槽连接，循环萃取，加入萃取剂,搅拌混合，使铜离子和铁离子分离，将铜离子萃取出来，然后静置分层，萃取后的水相低铜蚀刻液输送至氧化槽，经氧化后低铜蚀刻液返回至产线；

(3)、油相进入水洗段，经水洗后的油相中通入硫酸溶液进行反萃，将铜离子从萃取剂中反萃出来，反萃后的水相通入电解槽中进行电解，电解产生氧气通入步骤(2)中的氧化槽用于将低铜蚀刻液中亚铁离子氧化成铁离子；

(4)、反萃后的油相通入萃取槽重新进行萃取流程。

2.如权利要求1所述的一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于：步骤(2)中所述萃取剂为ad100、N902、M5640H、CLX50中的一种或几种，萃取时间1min-10min，搅拌转速0-2000r/min。

3.如权利要求2所述的一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于：步骤(2)中萃取时油相与水相比为1:1---1:5。

4.如权利要求3所述的一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于：步骤(2)中萃取后水相中铜含量低于20g/l。

5.如权利要求1所述的一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于：步骤(3)中所用硫酸浓度在1--4mol/l，所采用的的反萃油相比水相为1:1--1:3。

6.如权利要求6所述的一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于：步骤(3)中反萃后的水相为铜浓度在5--40g/l的硫酸铜溶液。

7.如权利要求7所述的一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于：步骤(3)中电解时电流密度在0.5--4asd。

8.如权利要求1所述的一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，其特征在于：步骤(2)中氧化槽的反应压力为0.06-0.2Mpa，温度为80--100℃，还包括向氧化槽中加入催化剂，所述催化剂为亚硝酸钠、硝酸中的一种或几种，所述催化剂的添加量为0-0.06％。